潔淨棚日常維護還需要注意哪些細節?
在潔淨棚(péng)的日常維護中,除了基礎(chǔ)的組件保養和係統管理外,還有許多(duō)容易被忽視的細節,這些細節對維持潔淨度、設備穩定性及人員操作規範至(zhì)關重要。以下從環境(jìng)控製、人員操作、特殊場景等維度補充關鍵(jiàn)細節:
氣流組織優化
定期檢查高效過濾器出風口的勻流膜(擴散板)是否積塵或堵塞(sāi),用無塵布蘸酒精擦拭表麵,避免氣流(liú)不均導致(zhì)局部潔淨度下(xià)降。
嚴禁在潔淨棚內堆放雜物(如工具、耗材),保持工作區下方離地麵至少 50cm 的空間,防止阻(zǔ)擋回風口氣流。
溫濕度精細控製
注意加(jiā)濕器水箱的清潔(每周用 3% 過氧化氫溶液浸泡 30 分鍾,防止微生物(wù)滋生),若為電極式加濕器,每季度更換電極棒以避免結垢影響加濕(shī)效率。
當溫濕度波動(dòng)超過設定值(如溫度(dù) ±1℃、濕度 ±3% RH)時,需檢查空調機組表冷器是否結(jié)垢、加濕器噴口是否堵塞。
靜電控製(zhì)細節
每日(rì)用(yòng)靜電測試儀檢測工作台麵、地(dì)麵的靜電值(目標值≤10^9Ω),若超標需檢查接地線是否鬆動(接地(dì)電阻應≤1Ω),或更(gèng)換防靜電台墊。
禁止在潔淨棚內使用化纖材質的物品(如抹布、文件袋(dài)),所有工具需選用防靜電版本(如防靜(jìng)電鑷子、螺(luó)絲刀)。
進出流程細化(huà)
風淋室使(shǐ)用時,需確(què)保噴嘴出風口(kǒu)風速≥25m/s(可(kě)定期用(yòng)風速儀檢測),人員在風淋室內應轉動身體 360°,吹淋時(shí)間不足時嚴禁強行開(kāi)門。
傳遞窗兩側(cè)門需互(hù)鎖(若為手動(dòng)門,需張貼 “禁止同時開啟” 標識),傳遞物品時需先關(guān)閉外(wài)側門,經紫外燈照射 30 分鍾後(如設定)再開啟內側門。
作(zuò)業行為管控
操作人(rén)員在潔淨棚內動作需(xū)輕柔,避免快速走動或(huò)揮手(實驗數據(jù)表明(míng),快速動作(zuò)可使塵埃粒子數瞬間增加 30%),必要時使用(yòng)無塵簾隔離操作區。
禁止在潔淨棚內飲水、飲食或使用化妝品,防止微塵(chén)與微生物汙(wū)染,臨時離開後重新進入需再次更(gèng)衣、風淋。
FFU(風機過濾單元)維護
每月通過 FFU 控製麵板查看風機轉速是否穩定(允許 ±5% 波動(dòng)),若(ruò)轉速異(yì)常降低,可能是過濾器阻力(lì)過大或電機(jī)軸承磨損,需及時排查。
對於吊頂式 FFU,每季度檢(jiǎn)查吊裝螺栓是否鬆動(尤(yóu)其在頻繁啟停(tíng)後),防止設備(bèi)墜落風險,同時清理 FFU 頂(dǐng)部與天花板之間的積塵。
高效過濾器密封細節
更換高效過濾器後,需用熒光檢漏儀檢(jiǎn)測邊框(kuàng)密封膠是否(fǒu)有漏(lòu)點(在暗環境下觀察,漏光處需補塗密封膠),或用氣溶膠(jiāo)發生器(qì)配合粒子(zǐ)計數器掃描邊緣,確保泄漏率≤0.01%。
地漏與排(pái)水係統
潔淨棚內(nèi)若設有地(dì)漏,需每日檢查水封是否有效(水封高(gāo)度(dù)≥50mm),每周倒(dǎo)入消毒(dú)水(如次氯酸鈉溶液)防止異味與微生物滋生,蓋板(bǎn)需保持密封狀態。
監測設備校準(zhǔn)與擺放
塵埃粒子計數(shù)器的采樣口需(xū)固定在工作區高度(距地麵(miàn) 0.8-1.2m),避免貼近牆麵或設備,采樣時保持采樣管垂直,防止(zhǐ)氣流幹擾數據。
所有監測儀器(如壓差表、溫濕度計)需貼有校準標簽,校準周期不超過 1 年,若(ruò)發現數據異常(cháng)(如壓差表指針(zhēn)抖(dǒu)動),需立即用標準表比對。
數據記錄與趨勢分析
維護台賬需記錄每日 3 次(早、中(zhōng)、晚)的關鍵參(cān)數(如風速(sù)、壓差、粒子數),並用折線(xiàn)圖繪製趨勢,若連續 3 天數據呈上升趨勢(如粒子數增加 20%),需提前安排過濾器檢查。
特別注(zhù)意節假日或(huò)長期停機後(hòu)的(de)重啟數據,開機後需運行 30 分鍾以上再檢測潔淨度,避免初始氣流不穩定導致誤判。
突發汙染應對
若發生液體泄漏(如試劑、溶劑),需立即用無塵(chén)吸(xī)附棉覆蓋吸附,再用 75% 酒精或(huò)專(zhuān)用消毒劑(如季銨鹽(yán)類)擦拭地麵及周邊區域,汙染麵積超過 1㎡時需(xū)記錄並追蹤後續潔淨度變化。
發現微(wēi)生物超(chāo)標(如浮遊菌>100CFU/m³),需使用汽化過氧化氫發生(shēng)器進行空間(jiān)滅菌(濃度≥600ppm,作用時間≥2 小時),滅菌後需通風 4 小時以上再進入(rù)。
停機與重啟管理
短期停機(<24 小時)時,風機需保持(chí)低(dī)速運行(維持(chí)微正壓),避免外界(jiè)灰塵(chén)倒灌(guàn);長期停機(>72 小時)前,需徹底清(qīng)潔(jié)內部並(bìng)關閉所有風門,重啟時需先更換初、中效過濾器。
醫藥行業:潔(jié)淨棚內使用的消毒劑需交替使用(如酒(jiǔ)精與碘伏每月輪換),避免微(wēi)生物產(chǎn)生耐藥性;稱量間需額外檢查層流罩的垂(chuí)直風(fēng)速(應維持 0.36-0.54m/s)。
半導體行業:禁止使用含(hán)矽(Si)的清潔劑,防止矽氧烷揮發(fā)汙染晶圓;維護工具需經離子風槍吹淋後再帶入,避(bì)免靜電吸附微塵。
與過濾器供應商簽訂年度維護協議,要求提供(gòng)過濾器(qì)阻力 - 使用(yòng)時間的預測模型,提前備貨易損件(如初效過濾器(qì)季度用量的 1.5 倍)。
每(měi)年邀請第三方檢測(cè)機構進行動態潔淨度認證(如 ISO 14644-1 檢測),檢測報告需(xū)歸檔保存,作為合規性審核依據。
通過關注上述細節,可將潔(jié)淨棚的維護從 “被動維修” 轉為 “主動預防”,尤其在半導(dǎo)體、醫藥等高要求(qiú)領域,細節管理直接影響產品良率與(yǔ)合(hé)規性。建議製定《潔淨棚維護 checklist》,將細節要點轉化為可執行的檢查項,確(què)保維(wéi)護工作無遺漏(lòu)。