如何判斷均流膜高效送風口(kǒu)的均流性能是否(fǒu)達標?
判斷(duàn)均流膜高效送風口的均流性能是否達標,需要結合氣流分布均勻性、風速穩定性、潔淨度(dù)維持能(néng)力(lì)等核心指標,通過專業檢測與實際運行觀察相結合的方式進行(háng)。以下(xià)是具體的判斷方法(fǎ)和(hé)標(biāo)準:
均流性能的核心(xīn)是氣流在送風(fēng)口下方形成穩定、均勻的氣流場,避免局部風速過高、過低或湍流,從而保(bǎo)證潔(jié)淨室的(de)潔淨度和(hé)工藝(yì)穩定性。具體檢(jiǎn)測(cè)方法如(rú)下:
檢測工具:高精度熱球風速儀(yí)(精度≥±0.05m/s)、風速巡檢(jiǎn)儀。
檢測(cè)方法:
在(zài)送風口正下方一定距離(通常為 300mm、600mm 或根據潔淨(jìng)室工藝要求設定)的平麵上,按照網格法布置測點(如 5×5 或 7×7 網格,間距≤300mm)。
逐點測量風(fēng)速,記錄數據並計算風速偏差率:
風速偏差率 =(某點風速 - 平(píng)均風速)/ 平均風速 × 100%
達標標準:
各測點風速偏差率應≤±15%(嚴格潔淨室如 A 級、B 級要求≤±10%),且平均風速需符(fú)合設計值(通常潔淨室送風口風速為 0.3~0.5m/s,具體按工藝要(yào)求)。
檢測工具(jù):煙霧發生(shēng)器(如發(fā)煙筆、氣溶膠發生(shēng)器)、高速攝像機(可選)。
檢測方法:
在送風口(kǒu)下方釋放煙霧(wù),觀察氣流是否(fǒu)呈層流或均勻擴散狀態,無(wú)明顯渦流、死角(jiǎo)或偏流。
達標標準(zhǔn):
煙霧擴散均勻(yún),無局部聚集或快速沉降,氣流方向與設計一致(如垂直單向流、水平單向流),且能覆蓋送風口對應的潔淨區(qū)域。
檢測工具:差壓計(精度≥±2Pa)、風量(liàng)罩。
檢測方法:
測量送風(fēng)口與相(xiàng)鄰區域(yù)的靜壓(yā)差(確(què)保送風(fēng)口出風壓力穩定,避(bì)免因壓力波動導致氣流紊亂)。
用風量罩測量送風口總風量,與設計風量對比,偏差應≤±10%。
關聯邏(luó)輯:
風(fēng)量不穩定或壓力波動(dòng)會直接影響均流性能(néng),需先確(què)保風量和壓力達標,再判(pàn)斷(duàn)氣流(liú)均(jun1)勻(yún)性。
除了首次(cì)安裝後的檢(jiǎn)測,還需通過長期運行觀察判斷(duàn)均流性能(néng)是否持續達標:
潔淨度監測(cè)
定期檢測送風口覆蓋區(qū)域的懸浮粒子(zǐ)濃度(如 ISO 5 級潔淨室要求≥0.5μm 粒子≤3520 個 /m)。若局部區域粒子(zǐ)濃度(dù)異常升高,可能是(shì)均流性能下降(如局(jú)部風速不(bú)足導致汙染物沉(chén)積)。
溫濕度均勻性
均流性能差會(huì)導致局(jú)部溫濕度偏差(chà)過大。通過多點溫濕度計測量,若(ruò)送風口下方區域溫濕度偏差超過設(shè)計值(如(rú) ±1℃、±5% RH),可能與(yǔ)氣(qì)流分布不均相關。
均流膜狀態檢查
均流膜的破損、變形(xíng)、積(jī)塵(chén)會直接破壞均流性能:
目視檢查均流膜是否平整,有無褶(zhě)皺、撕裂或孔洞;
檢查膜表麵是否積塵過多(可通過壓差變化輔助判斷:當均流(liú)膜前後壓差超過初始值的 50% 時(shí),可能因堵塞導致氣(qì)流分布不均)。
判斷均流性能需符合行業標準,常(cháng)見依(yī)據包括:
GB 50591-2010《潔淨室(shì)施工及驗收規範》:明確(què)要求送風口氣流速度均勻,偏差不超過規定範圍;
ISO 14644-3《潔淨室及相關受(shòu)控環境 第(dì) 3 部(bù)分:檢測方法(fǎ)》:規定了氣流可視化和風速測量的標準流程;
設備廠商提供的技術參數:如(rú)均流膜的設計風速範圍、推薦的維護周期等。
判斷均流膜高效送風(fēng)口的均流性能(néng)是否達標,需通過(guò)風速均勻性檢測(偏差率≤±15%)、氣流流型觀察(無渦流 / 偏流)、風量與(yǔ)壓力穩定性三大核心手段,結合長期運行中的潔淨(jìng)度、溫濕度數據及均流膜狀態綜合評估。若檢測結果符合設計要求(qiú)和行業標準,且運行(háng)中無局(jú)部汙染或工藝異常(cháng),則可判定均流性能達(dá)標。