宜賓hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了解還是（shì）停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但（dàn）是對於高效過濾器的一些特性還是不（bú）太了解的！

比如效率為針對（duì）0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這（zhè）句話的（de）詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者（zhě）U15過（guò）濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一（yī）些筆記，針對（duì）高效（xiào）過濾器的一（yī）些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從（cóng）HEPA高效過（guò）濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用（yòng）來源於（yú）美國軍方, 為MIT相關標準。其（qí）後歐洲持續優化自身（shēn）規範（fàn）和標準

目前（qián）國家上（shàng）通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部（bù）分項目緊跟的是EN1822標準（zhǔn）。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的（de）氣（qì）溶膠下通過（guò）率大於99.95%的就（jiù）可以,也就是（shì）H13以上;
EN1822
從圖中可（kě）以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率（lǜ）可以是整體的5倍這當然是在（zài）MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以（yǐ）上的（de）兩（liǎng）張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量（liàng）中徑,也就是所有的氣溶膠（jiāo）粒徑分布當中50%的質量大於這個值（zhí）,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質（zhì）量中徑在（zài）0.3um的氣溶膠群,也就（jiù）是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒（lì）徑的0.3um的（de）氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於（yú）這個值。MMD=0.3um的顆粒們其（qí）實它們的CMD大（dà）約（yuē）在0.2um.這是因（yīn）為（wéi）大顆粒的粒子占有的數（shù）量權（quán）重雖然小,但是（shì）質量權重很大。因（yīn）此在IEST上（shàng）麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏（lǐ）也僅僅是類似，不能完全（quán）等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的（de）分類（lèi）劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到（dào）底是多（duō）少（shǎo）,是需要對某一（yī）種濾料,比如某一種玻璃纖（xiān）維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均（jun1）要發單（dān）[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體（tǐ）的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計（jì）,絕大部分的最易穿（chuān）透的粒子粒徑在（zài）0.1um-0.25um之（zhī）間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注（zhù）意的是這個標準差和粒（lì）徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑（jìng）沒有關係.因（yīn）此91小视频可以認為MPPS的（de）粒徑大小在測試的時候不是針對某一（yī）個粒徑的而是針對一個區間的。這個（gè）也就是為什麽MPPS在實際現場測試（shì）的（de）時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總（zǒng）和;同時也要說明（míng）的是不同的過濾風（fēng）速下（xià）MPPS是不同的。出廠前需（xū）要明確額定濾速是多少.

5).對於實際（jì）的MPPS測試,一般（bān）要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範（fàn）圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的（de）發塵應該（gāi）正好落在這個（gè）範圍之內（nèi）,而（ér）且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定（dìng）偏差（chà）不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠（jiāo）發生器可（kě）以分為若幹種,如熱發塵（chén）和冷發（fā）塵,異凝結發塵和（hé）同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散（sàn）相粒（lì）徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分（fèn）散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝（níng）結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣（qì）溶膠發生器（qì） 準單（dān）分（fèn）散（sàn）相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不（bú）穩定

從美國的IEST可以看出他們使用（yòng）的是第一種和第二種（zhǒng）,用光度儀測試質量（liàng）濃度比;而歐（ōu）盟采（cǎi）用後（hòu）麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在（zài）於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠（chǎng）直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作（zuò）為MPPS的數量考慮（lǜ）應該是（shì）符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的（de）。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可（kě）以作為上下遊（yóu）分（fèn）別的粒子計數了。但是這（zhè）裏（lǐ）要注意的（de）是單分散相也不是真（zhēn）正的單分散相（xiàng）還是有各（gè）種（zhǒng）粒徑（jìng）分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同（tóng）時（shí）測粒子粒徑分布（bù）和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量（liàng）MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即（jí）可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一（yī）般坐（zuò）落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好（hǎo）取MPPS/2-MPPS*2的全部範（fàn）圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有（yǒu）一個測量精度問（wèn）題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家（jiā）或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規（guī）範也可以要（yào）求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段（duàn）上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試（shì）可以（yǐ）在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這（zhè）三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一（yī）個並且選擇全部的粒子或者部分的粒（lì）子。到底怎麽選根（gēn）據實（shí）際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選（xuǎn）擇0.1-0.2um之間的。因為大（dà）部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用（yòng）第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間（jiān）的值作為（wéi）劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般（bān）有兩種方法。

一種是用於測定質（zhì）量濃度的光度計,它不（bú）能計數。因此（cǐ）可（kě）以用在DOP方法測（cè）試H13和H14上麵（miàn）特（tè）別是在現場（chǎng）的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測（cè）粒徑也可（kě）以測數量。不過需要說明（míng）的是不能認為它什麽粒徑都能（néng）測,它一般隻能（néng）分段測（cè）粒徑。比如（rú）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑（jìng）也能（néng）分析的一（yī）清二楚. 因（yīn）此實際的接收粒子MPPS是（shì）在一段粒徑之間的。上麵已（yǐ）經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點（diǎn）是（shì）曲線找出（chū）來的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種（zhǒng）不同（tóng）的粒徑,通過畫（huà）曲線的方法找到最低點MPPS。這種方（fāng）法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因（yīn）此其實找到的（de）不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求（qiú）了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某（mǒu）一段粒（lì）徑（jìng）之間而（ér）絕（jué）不是細到每一粒徑（jìng）的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求（qiú）對（duì）於其測試（shì）質量（liàng）濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且（qiě）直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更（gèng）加不利的那（nà）一個數據.但是並不（bú）需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使（shǐ）用TFI的冷發塵（chén）,由於（yú）其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因（yīn）此要求現場的測（cè）試質量濃度比為99.99%@H13H14是合（hé）理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目（mù）而言,還是使用H14以上的高（gāo）效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的（de）就（jiù）需要測試MPPS了,對於測試方法上麵（miàn）已經有說明,總體（tǐ）而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑（jìng）的數（shù）量;

6:對測試結果的分析（xī）

由於現場（chǎng）測試的隻能是樣本（běn）,而且不可能全部都（dōu）測.因此實際的結果分（fèn）析采用了泊鬆（sōng）分布的95%置信（xìn）區間的結（jié）果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提（tí）到了統（tǒng）計學（xué）相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何（hé）標準差