許昌hepa高效過（guò）濾器

其實很多人對於（yú）高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨（jìng）室要安裝初（chū）效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過（guò）濾器的一些特性（xìng）還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級（jí）別高效過濾器,這句話的（de）詳細意思其實並沒有（yǒu）多少（shǎo）人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過（guò）濾器的測（cè）試（shì）粒子的（de）尺寸（cùn）是什麽？

下麵的內容則是（shì）我自己以前整（zhěng）理的一些筆（bǐ）記，針對（duì）高效（xiào）過濾器的（de）一些詳細介紹（shào）。

不太懂的就看黑體字（zì）就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為（wéi）高效過（guò）濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準（zhǔn）

目前國家上通行（háng）的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三（sān）大標準。中國國內大部（bù）分項（xiàng）目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的（de）顆粒的整（zhěng）體效率不低於99.97%為（wéi）高（gāo）效;EN1882規定（dìng）隻（zhī）要在MPPS的氣溶膠下通過（guò）率大於99.95%的就可以,也就（jiù）是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對（duì）於局部（bù）穿透（tòu）率可以（yǐ）是（shì）整（zhěng）體的5倍（bèi）這當然是（shì）在MPPS 的粒徑考慮之（zhī）下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為（wéi）IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者（zhě）@0.3um>=99.99%僅僅是（shì）針對（duì）0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶（róng）膠是單（dān）分（fèn）散相或者多分散相的,是一（yī）個範圍內的（de）氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的（de）顆（kē）粒們其實它們的（de）CMD大約在0.2um.這（zhè）是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小（xiǎo）,但是質量權重很大。因此（cǐ）在IEST上（shàng）麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏（lǐ）也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新（xīn）版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為（wéi）HEPA的分類劃入高效係列,不同於（yú）以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比（bǐ）如（rú）某一種玻璃纖維做實驗室測試（shì）的（de）。需要（yào）至（zhì）少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相（xiàng）的粒子,布滿整體（tǐ）的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發（fā）生器或（huò）者LASKIN噴嘴噴出的（de）氣溶膠粒徑不（bú）可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注（zhù）意的是這個標準差（chà）和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此91小视频可以認為MPPS的粒徑大小在測（cè）試（shì）的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這（zhè）個也就是為什麽MPPS在實際現場測（cè）試的時候要求測試一個區間範（fàn）圍（wéi）內的（de）所有粒（lì）子數（shù）量總和;同時也要說明（míng）的是不同的（de）過濾風速下MPPS是不同（tóng）的。出（chū）廠前需要明（míng）確額（é）定濾（lǜ）速是多少.

5).對於（yú）實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總（zǒng）數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵（chén）應該正好（hǎo）落在這個範圍之內,而且粒徑的（de）中值CMD應（yīng）該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過（guò）10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷（lěng）發塵,異凝結發塵和（hé）同凝結發塵（chén）,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱（rè）發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分（fèn）散（sàn）冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相（xiàng）異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散（sàn）相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶（róng）膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不（bú）穩定

從美國的（de）IEST可以看出他們使用的是第一種和第（dì）二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測（cè）試，更（gèng）加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多（duō）工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為（wéi）MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範（fàn）圍的（de）。

根據EN1822-5的說（shuō）法,如（rú）果是采用單分散相粒子在測試（shì）效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數（shù）量加在一起就可以作（zuò）為上下（xià）遊分別的（de）粒子計數了。但是這裏要（yào）注意的是（shì）單（dān）分散（sàn）相也不是真正的單分散相還（hái）是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不（bú）是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進（jìn）行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的（de）是（shì）在（zài）上下遊收集（jí）的時候,在MPPS已經知（zhī）道的情況下,隻（zhī）需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說（shuō）明:現在（zài）EN已經發現（xiàn）MPPS粒子（zǐ）一（yī）般（bān）坐落於0.1um-0.25um之（zhī）間。這個範圍（wéi）的最大值與最小值之比（bǐ）為（wéi）2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍（wéi）或者部分。這是因為實際的光學粒子計數（shù）器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測量（liàng）分段（duàn）為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所（suǒ）以實際的結（jié）果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計（jì）量基礎。

根據EN1822要求,最（zuì）好的測量（liàng）範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為（wéi）劑量範圍.因此（cǐ）實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光（guāng）學粒（lì）子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選（xuǎn）擇全部的粒子或者部分的粒子。到底（dǐ）怎麽（me）選（xuǎn）根據實際的粒子分析儀來。實際的工（gōng）程結果是選擇（zé）0.1-0.2um之（zhī）間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子（zǐ）,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之（zhī）間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的（de）值作為劑量標（biāo）準。

以上是對多分散粒子測試（shì）時候的（de）分析與說明。

3:接收方法（fǎ）

一般（bān）有兩種方法。

一種是（shì）用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在（zài）現場的時候；

另外一種是（shì）用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以（yǐ）測粒徑也（yě）可以測數量。不過需（xū）要說明的是不能認為它什麽（me）粒徑都能測,它一（yī）般隻能分段（duàn）測粒徑。比（bǐ）如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家（jiā）想（xiǎng）象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒（lì）子MPPS是在（zài）一段粒徑（jìng）之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來（lái）的。規定要求測至（zhì）少六種（zhǒng）不同的粒徑（jìng）,通（tōng）過畫曲（qǔ）線的方（fāng）法找（zhǎo）到最低點MPPS。這種方法隻（zhī）能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一（yī）個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏（lǐ）麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之（zhī）間的粒徑,所以這更加說明了是粒（lì）子分析隻能測試出某一段（duàn）粒徑之間而絕不是細（xì）到每（měi）一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於（yú）其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的（de）U15以上要求用粒（lì）子計數（shù）器,並且直接讀取（qǔ）0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用（yòng）TFI的冷發塵,由於（yú）其屬於多分散相，因此其實導（dǎo）致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因（yīn）此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效（xiào）比較保險（xiǎn）。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言（yán）就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對（duì）測（cè）試結果的分析

由於現（xiàn）場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果（guǒ）分（fèn）析采用了泊（bó）鬆分布（bù）的95%置信區間的結果。

參（cān）考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料（liào）當中提到了（le）統（tǒng）計學相關知識,包括泊鬆（sōng）分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差