新鄉hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了（le）解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中（zhōng）高效F9+末端的（de）高效H14，但（dàn）是對於高效過濾器的一些特性還是不（bú）太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人（rén）思考（kǎo）！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測（cè）試粒子的尺（chǐ）寸是什麽？

下（xià）麵的內容則是（shì）我自己以前整理（lǐ）的一些筆記，針對高效（xiào）過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起（qǐ）

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美（měi）國軍（jun1）方, 為MIT相關標準。其後歐洲（zhōu）持續優化自身規範（fàn）和標準

目前國家（jiā）上通行的是（shì）IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標（biāo）準。中國（guó）國內大部分項目緊（jǐn）跟的是（shì）EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶（róng）膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以（yǐ）看到（dào）如下信息:EN1882對於局部穿透率可以（yǐ）是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩（liǎng）張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是（shì）粒子質量中徑,也就是所有的（de）氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小（xiǎo）於這個值.

因此（cǐ）不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或（huò）者@0.3um>=99.99%僅僅（jǐn）是針對0.3um的要求.其實這個規定（dìng）要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單（dān）分散相或者多分散相的,是一（yī）個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子（zǐ）大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它（tā）們的CMD大約在（zài）0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說（shuō）99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直（zhí）徑.這裏也（yě）僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為（wéi）HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的（de）EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要（yào）對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試（shì）驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒（lì）子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出（chū）來最（zuì）低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生（shēng）器或者LASKIN噴嘴噴（pēn）出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標（biāo）準（zhǔn）差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大（dà）小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因（yīn）此91小视频可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑的（de）而是針對一個區（qū）間的。這個也就（jiù）是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測（cè）試一個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說明的是（shì）不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多（duō）少.

5).對於（yú）實際的MPPS測試,一（yī）般（bān）要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該（gāi）正好（hǎo）落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等（děng）於MPPS[理（lǐ）想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣（qì）多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單（dān）分散（sàn）相異凝結（jié） 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單（dān）分散（sàn）相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發（fā）塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的（de）是第一（yī）種和第二（èr）種（zhǒng）,用光度儀測試（shì）質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行（háng）測試，更加合理優越。不過問題在（zài）於（yú）MPPS不可能直接測量一（yī）個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子（zǐ）數量全部加起來作（zuò）為（wéi）MPPS的數量考慮應（yīng）該（gāi）是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍（wéi）的。

根（gēn）據EN1822-5的說法,如果是采（cǎi）用（yòng）單分散相粒子（zǐ）在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直（zhí）接把所有的粒子數量加在一起就可以作為上下遊分（fèn）別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單（dān）分散相也不是真正的單分散相還是有（yǒu）各（gè）種粒徑分布（bù）的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為（wéi）了。

對（duì）於多（duō）分散相就不是這麽回事了。因為標準（zhǔn）差大於1.5，因（yīn）此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間（jiān）。這個範（fàn）圍（wéi）的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好（hǎo）取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子（zǐ）計數器有（yǒu）一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數（shù）結果0.1um-0.2um之（zhī）間的總數作為計（jì）量基礎。

根（gēn）據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍（wéi）.因此實際（jì）的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其（qí）中三個（gè）分段裏麵（miàn）任選一個並且選擇全部的粒子或者部（bù）分（fèn）的（de）粒子（zǐ）。到底怎麽選（xuǎn）根據（jù）實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選（xuǎn）擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值（zhí）作為劑量標準。

以上（shàng）是對多分散粒子測試時候（hòu）的分析與說（shuō）明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的光（guāng）度計,它不能計數。因此可以用在（zài）DOP方法測試H13和（hé）H14上麵特（tè）別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒（lì）徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不（bú）過需要說明的是不能（néng）認為它什（shí）麽粒徑都能測,它一般（bān）隻能（néng）分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而（ér）不（bú）是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣（yàng）的粒徑也能分析的一清二（èr）楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是（shì）實際測出來（lái）的。規定要（yào）求測至少六種不同的粒徑,通過畫（huà）曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能（néng）用單（dān）分散相的粒（lì）子（zǐ）發生器來測試（shì）。因此其實找（zhǎo）到的（de）不是單一粒徑（jìng）,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了（le）MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之（zhī）間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃（nóng）度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數（shù）據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司（sī）使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已（yǐ）經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結（jié）果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於（yú）大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效（xiào）比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試（shì）MPPS了,對於測試（shì）方法上麵已經有說明,總體而言就（jiù）是測包含MPPS的一段區間（jiān）粒徑的數量;

6:對測試結（jié）果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全（quán）部都測.因此實際的結（jié）果（guǒ）分析采用了泊鬆分布的95%置信區（qū）間（jiān）的結果。

參考資料（liào）

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並（bìng）且在資料當中（zhōng）提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差