烏魯木齊hepa高效過濾器

其（qí）實很多人對（duì）於高效過濾（lǜ）器的了解還是停留在表麵上的，

比（bǐ）如隻知道潔淨室要安裝（zhuāng）初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高（gāo）效過濾器的一些特性還是不（bú）太了解的！

比如效率為針對0.3um的（de）粒（lì）子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話（huà）的詳細（xì）意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介（jiè）紹的（de）H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是（shì）什麽？

下麵的內容則是（shì）我自己以前整理的一些筆記（jì），針（zhēn）對高（gāo）效過濾（lǜ）器的一些詳細介紹（shào）。

不太懂的（de）就看（kàn）黑體（tǐ）字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器（qì）效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的（de）HEPA 的使用來源於美國（guó）軍方, 為MIT相關標準。其（qí）後歐（ōu）洲（zhōu）持續優（yōu）化自身規範和（hé）標準

目前國家上通行的（de）是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標（biāo）準。

IEST規定對（duì）於MMD=0.3um的顆粒的整體效（xiào）率不低於99.97%為高效;EN1882規（guī）定（dìng）隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就（jiù）是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是（shì）在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描（miáo）述（shù）
針（zhēn）對（duì）以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的（de）是粒子質量中徑,也就是所（suǒ）有的氣（qì）溶膠粒徑分布當中（zhōng）50%的質量大（dà）於這（zhè）個值,50%的質量（liàng）小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或（huò）者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群（qún）,也就是氣溶膠是單分散相或者多（duō）分散相的,是一個範圍內的氣溶（róng）膠群體,而（ér）絕不是單一粒徑（jìng）的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其（qí）實它們的CMD大約在0.2um.這是因（yīn）為大顆粒的粒子占有的數量權重（chóng）雖然小,但是質量權重很大。因（yīn）此（cǐ）在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同（tóng）於EN1882的MPPS的顆（kē）粒直徑.這裏也僅僅是（shì）類似，不能完全等同（tóng）。

3).新版的EN1822-2009把以前（qián）的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高（gāo）效係列,不同（tóng）於（yú）以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試（shì）驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒（lì）子,布滿整體的（de）0.1-0.5um的區間。最（zuì）後用（yòng）曲線做出來最低點。根據（jù）現在EN1822的統計（jì）,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶（róng）膠（jiāo）發生器（qì）或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保（bǎo）證為唯一（yī）粒徑粒子,從標準差（chà）而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差（chà）和粒徑大小（xiǎo）沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此91小视频可（kě）以認為MPPS的粒徑大小（xiǎo）在測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這個也就（jiù）是為什（shí）麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試（shì）一個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說（shuō）明的是不（bú）同的過濾風速（sù）下MPPS是不同的。出廠前需要明（míng）確額定濾速是（shì）多（duō）少.

5).對（duì）於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有（yǒu）粒子總數。這裏（lǐ）所隱含（hán）的條件是氣溶膠（jiāo）的發塵應該正（zhèng）好落在這個範圍（wéi）之內,而且粒徑的（de）中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超（chāo）過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以（yǐ）保（bǎo）證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣（qì）多分散熱（rè）發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分（fèn）散相異凝（níng）結 1.05

自由噴射凝結式氣溶（róng）膠發生器 準單分散相自凝結（jié） σ=1.5

氣（qì）溶膠發塵（chén）+DPMS 多分散電移過濾（lǜ）為（wéi）單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出（chū）他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比（bǐ）;而歐盟采用後麵四種進行測（cè）試，更（gèng）加合理優越。不過問題在於MPPS不可（kě）能直接測量一個粒徑值。其（qí）實（shí）是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起（qǐ）來作（zuò）為MPPS的數（shù）量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這（zhè）個範（fàn）圍的。

根據EN1822-5的說法,如（rú）果是采用單分散相粒子（zǐ）在測試效率的時候（hòu）是不計量粒子分（fèn）徑的。直（zhí）接把所有的粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是（shì）這裏要注（zhù）意的（de）是單分（fèn）散相也不是真（zhēn）正的單分（fèn）散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小（xiǎo）於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準（zhǔn）差大於1.5，因此在進（jìn）行測試的時（shí）候要求同時測粒子（zǐ）粒徑分布（bù）和（hé）數量。需要注（zhù）意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測（cè）量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現（xiàn）MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大（dà）值與（yǔ）最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是（shì）因為實際的光學粒子計數器（qì）有（yǒu）一個測量精度問題。大家知道的（de）一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的（de）計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測（cè）量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量（liàng）範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考（kǎo）慮到實際的（de）光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並（bìng）且選擇全部的（de）粒子或者部分的粒子。到（dào）底怎麽選根據實際的粒子分析（xī）儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在（zài）0.18um的（de）樣（yàng）子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分（fèn）也就是0.1um-0.2um之間（jiān）的值作為劑量（liàng）標準（zhǔn）。

以上（shàng）是（shì）對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般（bān）有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的（de）光度計,它不能計數。因此（cǐ）可（kě）以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是（shì）在（zài）現場的時（shí）候；

另外一種是用粒子計數器或者（zhě）粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認（rèn）為（wéi）它什麽粒徑都能測,它一般隻能分（fèn）段測（cè）粒徑。比如（rú）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的（de）一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的（de）最低MPPS的（de）點是曲線找出來的,而不是實際測出來的（de）。規定要求測至少六種不同的粒徑（jìng）,通過畫曲線的方法找到最低（dī）點MPPS。這種方法隻能用單分散相（xiàng）的粒子發生器來（lái）測（cè）試。因此其實找到的不是單一粒（lì）徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間（jiān）的粒徑,所以這更（gèng）加說明了是（shì）粒子分析隻能（néng）測試出某一段粒徑之間而絕（jué）不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量（liàng）濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩（liǎng）組中（zhōng）的更加不利的（de）那一個數據.但是並不（bú）需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的（de）冷發塵,由於其屬於多分散（sàn）相，因此其實導致的結果就是（shì）CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大（dà）於0.3um的要（yào）求了。因此要求現場的測（cè）試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的（de）.因為這裏（lǐ）的結果已經比0.3um為99.99%在（zài）實驗室要求低了。

對於大部（bù）分（fèn）的項目（mù）而言,還是使用H14以上的高效（xiào）比較保險。

5. EN1822測試方法

對（duì）於H10以上的就（jiù）需要測試MPPS了,對於測試方法上麵（miàn）已經有說明,總體而言就是測包含（hán）MPPS的一段區間粒（lì）徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能（néng）是（shì）樣本,而且不可能全部都測.因此（cǐ）實際的（de）結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中（zhōng）提到了統計學相關知識,包（bāo）括（kuò）泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差（chà）