武漢hepa高效過濾（lǜ）器（qì）

其實很（hěn）多人對於高效過濾器的了解（jiě）還是停（tíng）留（liú）在表麵上的（de），

比如隻知道潔淨室要安裝初效（xiào）G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對（duì）於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如（rú）效率為針對0.3um的粒子其（qí）濃度不低於99.97%為美國的（de）A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器（qì）的測試粒子的尺寸是什麽？

下（xià）麵的內容則（zé）是我自（zì）己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效（xiào）率說起

HEPA—high efficiency particulate air為（wéi）高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國（guó）軍方, 為MIT相關標準（zhǔn）。其後歐洲（zhōu）持（chí）續（xù）優化自身規範和標（biāo）準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準（zhǔn）。中（zhōng）國國內大部（bù）分項目（mù）緊跟（gēn）的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規（guī）定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的（de）就可以,也就是H13以上（shàng）;
EN1822
從圖中可（kě）以看到如下信息:EN1882對（duì）於局部穿透率（lǜ）可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒（lì）子質量中徑（jìng）,也就是所有的氣溶膠粒徑（jìng）分布當中50%的質量大於這個值,50%的質（zhì）量小於這個值.

因此不要認為（wéi）IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅（jǐn）是針對0.3um的要（yào）求.其實這個（gè）規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單（dān）分散相或者多分散相的,是一個範（fàn）圍內的氣（qì）溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是（shì）粒子尺寸中（zhōng）徑,也就是（shì）有（yǒu）50%的粒子（zǐ）大於這個值.50%的粒子小於這個值（zhí）。MMD=0.3um的顆（kē）粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒（lì）子占有的數量權重雖（suī）然小,但是質量權（quán）重（chóng）很大。因此在IEST上（shàng）麵說99.97%@0.3um其（qí）實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能（néng）完全等（děng）同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類（lèi）劃入高效係列,不（bú）同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾（lǜ）料,比如某一種玻璃纖維做（zuò）實驗室測試的。需要（yào）至少做5次重複試驗。每次試驗均要（yào）發單[準]分散相或者多分（fèn）散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線（xiàn）做（zuò）出來最低點。根據現在EN1822的統（tǒng）計,絕大部分的最易穿透的粒（lì）子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而（ér）言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的（de）氣（qì）溶膠粒徑不可能保（bǎo）證為唯一粒徑粒子（zǐ）,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注（zhù）意的是（shì）這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是（shì）計（jì）算結果和粒徑沒有關係.因此91小视频可以認為MPPS的（de）粒徑大小在（zài）測試的時候（hòu）不是針對某（mǒu）一個粒徑的而是針對（duì）一個區（qū）間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍（wéi）內的所有粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出（chū）廠前需要明（míng）確額定濾速是多少.

5).對於（yú）實際的MPPS測（cè）試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏（lǐ）所隱（yǐn）含的條（tiáo）件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而（ér）且粒徑的中（zhōng）值CMD應該正好等（děng）於（yú）MPPS[理想化],EN1822規定偏差不（bú）能超過10%;

2.氣（qì）溶膠發生（shēng）器（qì）

氣溶膠（jiāo）發生器可以分為若幹種（zhǒng）,如熱（rè）發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的（de）幫（bāng）助下（xià）可（kě）以保證有單分散（sàn）相粒徑發出。

壓縮（suō）空氣多分（fèn）散熱發塵（chén） MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶（róng）膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單（dān）分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶（róng）膠（jiāo）發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵（chén）+DPMS 多分散電移（yí）過濾為單（dān）分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們（men）使用的是第（dì）一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐（ōu）盟采用後麵四種進行測（cè）試，更（gèng）加合理（lǐ）優越。不過問題在於MPPS不可能（néng）直接測量一個粒徑值。其實是一個範（fàn）圍。很多（duō）工廠直接把（bǎ）0.1-0.2um之間的粒（lì）子數量全部加起來作為MPPS的（de）數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單（dān）分散相粒子在測試效率的時候（hòu）是不計（jì）量粒子分（fèn）徑（jìng）的。直接把所有的粒子數（shù）量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是（shì）這裏要注意的是單分散相也不是真正的單分散相還是（shì）有各種粒徑分（fèn）布的。隻要標準差小於1.5就（jiù）可以這（zhè）麽認為了。

對於多分散相就不是（shì）這麽回事了。因為標準差大（dà）於（yú）1.5，因此在進行測試的時候要（yào）求同時測（cè）粒子粒徑分（fèn）布和數量。需要注意的是（shì）在上下遊收集的時候,在（zài）MPPS已經知道的情（qíng）況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的（de）全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在（zài）EN已經發（fā）現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個（gè）範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求（qiú）下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有（yǒu）一（yī）個測量精（jīng）度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方（fāng）最終的（de）計數結果0.1um-0.2um之間的總（zǒng）數作為計量基礎。

根（gēn）據EN1822要求（qiú）,最好的（de）測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組（zǔ）作（zuò）為劑量範（fàn）圍.因此（cǐ）實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際（jì）的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽（me）選根（gēn）據（jù）實（shí）際的粒子分析儀（yí）來。實際的（de）工（gōng）程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也（yě）就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般（bān）有兩（liǎng）種方法。

一種是用於測定質量濃度（dù）的光度計,它不能（néng）計數。因此可以用在DOP方（fāng）法測試H13和H14上麵（miàn）特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或（huò）者粒徑（jìng）分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認為（wéi）它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而（ér）不是（shì）大家想（xiǎng）象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的（de）接收粒子MPPS是在一段粒徑之（zhī）間的。上麵已經說過了。

這是因（yīn）為EN1822-3對於濾料測試的最（zuì）低MPPS的點是曲線找出（chū）來的,而不是實際測出（chū）來的。規定要（yào）求測至少六種不同的粒徑,通（tōng）過畫曲線（xiàn）的（de）方法找（zhǎo）到最（zuì）低點MPPS。這種（zhǒng）方法隻能用單分散相的粒（lì）子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且（qiě）在EN1822-4和EN1822-5裏麵（miàn）已經要求了（le）MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒（lì）徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試（shì）方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃（nóng）度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且（qiě）直（zhí）接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場（chǎng）中的DOP檢測（cè）,很多公司使用TFI的冷（lěng）發塵,由於其屬於多分（fèn）散相（xiàng），因此其實導致的（de）結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的（de）要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這（zhè）裏（lǐ）的結果已經比0.3um為99.99%在實驗（yàn）室要求低了。

對於大部分的（de）項目而言,還是使用H14以上的高效比（bǐ）較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需（xū）要測試MPPS了,對（duì）於測試方法上麵已經有（yǒu）說明（míng）,總體而（ér）言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試（shì）結（jié）果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而（ér）且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置（zhì）信區間的結果。

參考資（zī）料（liào）

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括（kuò）泊鬆分布（bù）/95%置信區間/標準差/幾何標準差