渭南hepa高（gāo）效（xiào）過濾器

其（qí）實很多人對於高效過濾（lǜ）器的了解還是（shì）停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初（chū）效G4+中（zhōng）效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的（de）！

比如效率為針（zhēn）對0.3um的粒子其（qí）濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾（lǜ）器,這（zhè）句話的詳細（xì）意思其（qí）實並沒有（yǒu）多（duō）少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理（lǐ）的一些筆記（jì），針對高效過（guò）濾器的一些詳（xiáng）細介紹。

不太懂的就看黑體（tǐ）字就可（kě）以（yǐ）了！！！！

1.從HEPA高效（xiào）過濾器（qì）效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源（yuán）於美國軍方, 為（wéi）MIT相關標準。其後歐洲持續優化（huà）自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高（gāo）效;EN1882規定（dìng）隻要在MPPS的氣溶膠下（xià）通過率（lǜ）大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局（jú）部穿透率可以是整體的（de）5倍這（zhè）當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對（duì）以上的兩張表格,分析如下（xià）:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶（róng）膠粒徑（jìng）分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因（yīn）此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針（zhēn）對0.3um的要求.其實（shí）這個規定要求的是（shì）質量中徑在0.3um的氣溶膠（jiāo）群,也就是氣溶膠是單（dān）分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶（róng）膠群體（tǐ）,而絕不是單一粒徑的（de）0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是（shì）粒子尺寸中（zhōng）徑,也就（jiù）是有50%的粒子大（dà）於這個值.50%的粒子小於（yú）這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的（de）粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大（dà）致等同於EN1882的MPPS的顆（kē）粒直徑.這裏也（yě）僅僅是類似，不能完（wán）全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均（jun1）作為HEPA的（de）分類劃入高效係列,不同於以（yǐ）前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少（shǎo）,是需要對某一（yī）種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗（yàn）室測試的。需要至（zhì）少（shǎo）做5次重（chóng）複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的（de）區間。最（zuì）後用曲線做出（chū）來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣（qì）溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可（kě）能保證（zhèng）為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這（zhè）個標準差和粒徑大小沒有直接（jiē）關係，也就是計算（suàn）結果和（hé）粒徑沒有關係（xì）.因（yīn）此91小视频可以認為（wéi）MPPS的粒徑大小在測試的時候（hòu）不是針對（duì）某一個粒徑的而是針對一個區間的。這個（gè）也就是為（wéi）什麽MPPS在實際現場測（cè）試的時候要求測試一個區間（jiān）範圍內的所有（yǒu）粒子數量總和;同時也（yě）要說明的是不同的過（guò）濾風速下MPPS是（shì）不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集（jí）MPPS/1.5---MPPS*1.5範（fàn）圍（wéi）之內的所有粒子總數（shù）。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落（luò）在這個範圍之內,而且粒徑的中（zhōng）值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵（chén）,異凝結發塵和同凝（níng）結發塵,在DPMS的幫助（zhù）下可以保證有單分散相（xiàng）粒徑（jìng）發（fā）出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶（róng）膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生（shēng）器 單分散（sàn）相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠（jiāo）發生器（qì） 準單分散（sàn）相自凝結（jié） σ=1.5

氣溶（róng）膠發塵+DPMS 多（duō）分散電移過濾為單分散相（xiàng） σ=1.1不穩（wěn）定

從美（měi）國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質（zhì）量（liàng）濃度比;而歐盟采用後麵四種（zhǒng）進行測試，更加合理優越（yuè）。不過問題（tí）在於MPPS不可能直接測量一個（gè）粒徑值。其（qí）實（shí）是一個範圍。很多工（gōng）廠直接（jiē）把（bǎ）0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這（zhè）個（gè）範（fàn）圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率（lǜ）的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒（lì）子（zǐ）數量加在一起（qǐ）就可以作為上下遊分別的粒子計數了（le）。但（dàn）是這裏要注意的是單分散相也不是（shì）真正的（de）單分散相還（hái）是有各種粒（lì）徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為（wéi）了。

對於多分散（sàn）相（xiàng）就不是這麽回事了。因為（wéi）標準差大於（yú）1.5，因（yīn）此在進行測試（shì）的時候要求同（tóng）時測粒子粒徑分（fèn）布和數量。需要注意的是在（zài）上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的（de）情況下,隻需（xū）要（yào）測量MPPS/2-MPPS*2分段（duàn）裏麵的全部或者部分粒子（zǐ）數量即可（kě）。

舉例來說明:現在EN已經發（fā）現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一（yī）個測量精度問題。大（dà）家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者（zhě）測試方（fāng）最終的計數（shù）結果0.1um-0.2um之間的總數作為（wéi）計量基礎。

根據EN1822要求,最好的（de）測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或（huò）者（zhě）在mpps*1.5-mpps*2的分段上任（rèn）選一組作為劑量範圍.因（yīn）此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況（kuàng）下進行（háng）計量。

考（kǎo）慮到實（shí）際的光學（xué）粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎（zěn）麽選根據實際的粒子分析儀來（lái）。實際的工程結（jié）果是選擇0.1-0.2um之間的。因（yīn）為（wéi）大部分MPPS在0.18um的樣子,因（yīn）此采用第二種分（fèn）段發（fā）可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的（de）值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析（xī）與說明。

3:接收方（fāng）法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子（zǐ）計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑（jìng）也可以測數量。不過需（xū）要說明的是不能認為它什麽粒徑（jìng）都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而（ér）不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二（èr）楚. 因此（cǐ）實際的接（jiē）收（shōu）粒子MPPS是（shì）在（zài）一段粒徑（jìng）之間的。上（shàng）麵已經（jīng）說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測（cè）試的最（zuì）低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實（shí）際測出來的。規定（dìng）要求測至少六（liù）種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低（dī）點MPPS。這種方法（fǎ）隻（zhī）能用單分散相的（de）粒子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在（zài）EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以（yǐ）這更（gèng）加說明（míng）了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求（qiú）對於其測試質量濃度（dù）就可以了,而對於高要求（qiú）的U15以上要求（qiú）用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不（bú）利的那一個數據.但是並（bìng）不（bú）需（xū）要先檢（jiǎn）測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於（yú）多分散相，因此其實導致的結（jié）果就（jiù）是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此（cǐ）要求（qiú）現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對（duì）於大部分的項目而（ér）言,還是使用（yòng）H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑（jìng）的數量;

6:對測試（shì）結果的分析（xī）

由於現場測試的隻（zhī）能是樣本,而且不可（kě）能全部都測.因此實際的結果分析采（cǎi）用了泊（bó）鬆分布的95%置信區間的結果。

參考（kǎo）資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當（dāng）中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分（fèn）布/95%置（zhì）信區間/標準差/幾何標準差