紹興hepa高效（xiào）過濾器

其（qí）實很（hěn）多人對於高效過濾（lǜ）器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高（gāo）效H14，但是對（duì）於高效過濾器的一些特（tè）性還是（shì）不太了解的！

比如效（xiào）率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這（zhè）句話（huà）的詳細意思（sī）其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺（chǐ）寸是什麽？

下麵的（de）內容則是我自己（jǐ）以前整（zhěng）理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就（jiù）看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過（guò）濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源（yuán）於美（měi）國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準（zhǔn）。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就（jiù）可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可（kě）以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格（gé）,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指（zhǐ）的是粒子質量中徑,也（yě）就是所有的氣溶（róng）膠粒徑分（fèn）布當中（zhōng）50%的（de）質量大於這個值,50%的質量（liàng）小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求（qiú）的是質量（liàng）中徑在（zài）0.3um的氣溶膠群（qún）,也（yě）就（jiù）是氣溶膠是單分散相或者（zhě）多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大（dà）於這個值（zhí）.50%的粒子小於（yú）這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒（lì）的粒子占（zhàn）有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說（shuō）99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同（tóng）。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作（zuò）為HEPA的分類劃入高效係列（liè）,不同於以（yǐ）前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是（shì）多少,是需要對某一種濾（lǜ）料,比如某一種玻璃纖（xiān）維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每（měi）次試驗均要（yào）發單[準]分散相或者多分散（sàn）相的粒子,布（bù）滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線（xiàn）做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在（zài）0.1um-0.25um之間（jiān）的某一個值。從商業角度而言（yán）,氣溶膠發（fā）生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑（jìng）不可（kě）能保證為唯一粒徑（jìng）粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的（de）是這個標準（zhǔn）差和粒徑大小（xiǎo）沒有直（zhí）接關係，也就是計算（suàn）結果和粒徑沒有關係.因此91小视频可以認（rèn）為MPPS的粒（lì）徑大小在測試的時（shí）候不是針對（duì）某一個粒徑的而是針對一個區間的。這個也就是（shì）為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求（qiú）測（cè）試一個區間範圍內的所（suǒ）有粒子（zǐ）數量總和;同時也要說明的是不同（tóng）的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需（xū）要明確額定（dìng）濾速是多少.

5).對於實際（jì）的MPPS測（cè）試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣（qì）溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發（fā）生器可以分（fèn）為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發（fā）塵和同凝結發塵,在（zài）DPMS的幫（bāng）助下可以（yǐ）保證有單分散（sàn）相粒徑發出（chū）。

壓縮空氣多（duō）分散（sàn）熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異（yì）凝結（jié） 1.05

自由噴射凝（níng）結式氣（qì）溶膠發生器 準單分散相自凝結（jié） σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美（měi）國的IEST可以看出他們使用的是第一種（zhǒng）和第二種,用（yòng）光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種（zhǒng）進行測試，更（gèng）加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測（cè）量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多（duō）工廠直接把0.1-0.2um之（zhī）間的粒子數量（liàng）全部（bù）加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個（gè）範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采（cǎi）用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的（de）粒子數量加在一起就可以作（zuò）為上下遊分別的粒子計數了。但是（shì）這裏要注意（yì）的是單分散相（xiàng）也不（bú）是真正的單分散相還是有各種粒徑分（fèn）布（bù）的。隻要標準差小於1.5就可以這（zhè）麽認為了（le）。

對於（yú）多分散相就不是這麽回事了。因為標準（zhǔn）差大（dà）於1.5，因此在進行測試的時候（hòu）要求同時測粒（lì）子粒徑分布和數量。需要（yào）注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏（lǐ）麵的全部或者（zhě）部分粒子數量（liàng）即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之（zhī）比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好（hǎo）取（qǔ）MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒（lì）子計數器有一個測量精度問題。大家知（zhī）道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根（gēn）據EN1822要求,最（zuì）好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之（zhī）間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段（duàn）上任選一組作為劑量範圍.因此實際（jì）的（de）測試（shì）可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分（fèn）析儀,應該可以（yǐ）在其中三個分段裏麵任選一個並且（qiě）選擇全部（bù）的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際（jì）的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大（dà）部分MPPS在0.18um的樣子（zǐ）,因此（cǐ）采用第二種分（fèn）段發可以在（zài）0.09um-0.27um之間選擇部（bù）分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標（biāo）準。

以上是（shì）對多分散粒子測試時候的（de）分析與說明。

3:接收方法

一般（bān）有兩種方法（fǎ）。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在（zài）DOP方法測試H13和H14上麵特別是在（zài）現（xiàn）場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑（jìng）分析計（jì）數器,它既可以（yǐ）測粒徑也可以測數（shù）量（liàng）。不過（guò）需要（yào）說（shuō）明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一（yī）般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收（shōu）粒子（zǐ）MPPS是在一段粒徑之間的（de）。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對（duì）於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出（chū）來的,而不（bú）是實（shí）際測出來的。規定要求測至少六種不同（tóng）的粒徑,通過畫曲線的方法（fǎ）找到（dào）最低點MPPS。這種方（fāng）法隻能用單分散相的粒子發生器（qì）來測試。因此其實（shí）找到的不是單（dān）一粒徑,而（ér）是一個區間;

並且在（zài）EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒（lì）徑,所以這（zhè）更加說明了（le）是（shì）粒子分析隻能測試出（chū）某一段粒徑之間而絕（jué）不是細到每（měi）一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於（yú）H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以（yǐ）了,而對於高要求（qiú）的U15以上要求用（yòng）粒子計數器,並（bìng）且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利（lì）的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致（zhì）的結（jié）果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於（yú）0.3um的要求了。因（yīn）此要求現（xiàn）場的測試（shì）質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為（wéi）99.99%在實驗室要求低了。

對於大部（bù）分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險（xiǎn）。

5. EN1822測試方（fāng）法

對於H10以上的（de）就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有（yǒu）說明,總體而言就（jiù）是測（cè）包含MPPS的一段區間粒徑的數量（liàng）;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是（shì）樣本,而且不可能全部（bù）都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間（jiān）的結果。

參考資（zī）料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括（kuò）泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標（biāo）準差