韶關hepa高效（xiào）過（guò）濾器

其實很多人對於高效過濾器的了解還是停留（liú）在（zài）表（biǎo）麵上的，

比如隻（zhī）知道潔淨室要安裝初（chū）效G4+中效F5+中（zhōng）高效（xiào）F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子（zǐ）其濃度（dù）不低於99.97%為（wéi）美國的A級（jí）別高效過濾器,這句話的詳細（xì）意（yì）思其實並（bìng）沒有多少人思考！

比如MPPS方法介（jiè）紹的H14或者U15過（guò）濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則（zé）是我自己以前整（zhěng）理的一些（xiē）筆記，針（zhēn）對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從（cóng）HEPA高效（xiào）過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過（guò）濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國（guó）軍方, 為MIT相關標準（zhǔn）。其後歐洲持續優化自身規範（fàn）和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標（biāo）準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體（tǐ）效率不低於99.97%為高效;EN1882規（guī）定隻要（yào）在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的（de）就可以,也就（jiù）是（shì）H13以上（shàng）;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局（jú）部穿透率（lǜ）可以是整體的5倍這（zhè）當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中（zhōng）的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中（zhōng）50%的質量大於（yú）這個（gè）值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅（jǐn）僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質（zhì）量中徑在0.3um的（de）氣溶膠（jiāo）群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的（de）氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的（de）0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆（kē）粒們其實它們的CMD大（dà）約在0.2um.這是因為（wéi）大顆粒的粒子（zǐ）占有的（de）數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的（de）顆粒直徑.這裏也僅（jǐn）僅是類似，不（bú）能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把（bǎ）以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類（lèi）劃入（rù）高效係列,不同於以（yǐ）前（qián）的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多（duō）少,是需要對某（mǒu）一種濾料,比如某一（yī）種玻璃纖（xiān）維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散（sàn）相的粒子,布滿整（zhěng）體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計（jì）,絕大（dà）部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生（shēng）器或者LASKIN噴嘴噴出的（de）氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準（zhǔn）差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大（dà）小沒有（yǒu）直接關係，也就是計算結（jié）果和粒徑沒有關係.因此91小视频可（kě）以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是（shì）針（zhēn）對某一個粒徑的而是（shì）針對一（yī）個區間的。這個也就（jiù）是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間（jiān）範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾（lǜ）風速下MPPS是不（bú）同（tóng）的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範（fàn）圍之內的所有粒子總數。這（zhè）裏所隱（yǐn）含的條件是氣溶膠（jiāo）的發塵應該正好落在這個範（fàn）圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正（zhèng）好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠（jiāo）發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓（yā）縮空氣多分散（sàn）熱發塵（chén） MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空（kōng）氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器（qì） 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分（fèn）散相異凝結（jié） 1.05

自（zì）由噴射凝結式氣溶膠發（fā）生（shēng）器 準單分散相自（zì）凝結 σ=1.5

氣溶膠發（fā）塵+DPMS 多分散電移過濾為單分（fèn）散相 σ=1.1不穩（wěn）定

從美國的IEST可以看出（chū）他們使用的是第一種和第二種,用光度儀（yí）測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在（zài）於MPPS不可能直接測量一個（gè）粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數（shù）量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範（fàn）圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分（fèn）徑的。直接把所有的粒子（zǐ）數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分（fèn）散相也（yě）不是真（zhēn）正的單分散相還（hái）是有各種（zhǒng）粒（lì）徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於（yú）多（duō）分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此（cǐ）在進行測試的時候要求同時測（cè）粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時（shí）候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要（yào）測量（liàng）MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例（lì）來（lái）說明:現在EN已經發（fā）現MPPS粒（lì）子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為（wéi）2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好（hǎo）取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分（fèn）。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知道的（de）一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的（de）結（jié）果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎（chǔ）。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求（qiú）在（zài）mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的（de）分段（duàn）上任選一組作為（wéi）劑（jì）量範圍.因（yīn）此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這（zhè）三種情況下進行計量。

考（kǎo）慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選（xuǎn）一個並且選擇全部的粒子或者（zhě）部分的粒子。到底怎麽選根據（jù）實際（jì）的粒子分析儀來。實際的工程（chéng）結果（guǒ）是（shì）選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用（yòng）第二種分段發可（kě）以在0.09um-0.27um之間選（xuǎn）擇部分（fèn）也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量（liàng）標準。

以（yǐ）上是對多分散（sàn）粒子測試（shì）時候的分析（xī）與說明。

3:接收方法

一般有兩種（zhǒng）方法（fǎ）。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它不能計（jì）數。因此可以用在DOP方（fāng）法（fǎ）測試H13和（hé）H14上麵特別是在現場的（de）時候；

另外一種是（shì）用（yòng）粒（lì）子計（jì）數器或（huò）者粒徑分析計（jì）數器,它（tā）既可以測粒徑也可以測數量（liàng）。不（bú）過需要說明的（de）是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分（fèn）段測粒徑。比如（rú）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一（yī）段（duàn）粒徑之間（jiān）的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是（shì）曲線找出（chū）來（lái）的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找（zhǎo）到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑（jìng）,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分（fèn）析隻能測試出某（mǒu）一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方（fāng）法

對於H13和H14,IEST要求對於其（qí）測試質量濃度就可以了,而對於高（gāo）要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的（de）更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測（cè）,很多公司使用TFI的（de）冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在（zài）0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此（cǐ）要求現（xiàn）場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這（zhè）裏（lǐ）的結果已經（jīng）比（bǐ）0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用（yòng）H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了（le）,對於測試方（fāng）法（fǎ）上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試（shì）的隻能是樣本（běn）,而且不可能全部都測.因此（cǐ）實際的結果分析采用了泊鬆分布的（de）95%置信區間的結果。

參考資（zī）料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料（liào）當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾（jǐ）何標準差