上海hepa高效過濾器

其實很（hěn）多人對（duì）於（yú）高效過濾器的了解還是停留（liú）在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效（xiào）G4+中效F5+中高效F9+末端的高效（xiào）H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒（lì）子其濃度不低於（yú）99.97%為美（měi）國的A級別高效（xiào）過濾（lǜ）器,這句話的詳細意思（sī）其（qí）實並沒有多少（shǎo）人思考！

比如MPPS方法介紹的（de）H14或者U15過濾（lǜ）器的測試粒（lì）子的尺寸是什麽（me）？

下麵的內容則是我自己以前整理的（de）一些筆記，針對高效過濾器的一（yī）些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過（guò）濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高（gāo）效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標（biāo）準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國家上通行（háng）的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三（sān）大標準。中國國（guó）內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定（dìng）對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高（gāo）效;EN1882規（guī）定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上（shàng）;
EN1822
從圖（tú）中可以看到如下（xià）信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑（jìng）考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中（zhōng）徑,也就是所（suǒ）有的氣溶膠粒徑分（fèn）布當中50%的質量大於這個值,50%的（de）質量小於這個值.

因（yīn）此不要認為IEST的規定（dìng）@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要（yào）求的（de）是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分（fèn）散相或者多分散（sàn）相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是（shì）粒子尺寸中徑,也（yě）就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆（kē）粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權（quán）重（chóng）很大。因此在IEST上（shàng）麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆（kē）粒直徑.這（zhè）裏也僅僅是類似，不能完全（quán）等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃（huá）入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一（yī）種玻璃纖維做實驗（yàn）室測試的。需（xū）要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準（zhǔn）]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來（lái）最低點。根據現（xiàn）在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值（zhí）。從商業角度而言,氣溶（róng）膠發生器或者LASKIN噴（pēn）嘴噴出的（de）氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注（zhù）意的是這（zhè）個標準差和粒（lì）徑大小沒有直接關係，也就是計算結（jié）果和粒徑沒有關係.因此91小视频可（kě）以（yǐ）認為MPPS的粒（lì）徑大（dà）小在測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對（duì）一個區間的。這個（gè）也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子（zǐ）數量總（zǒng）和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速（sù）是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般（bān）要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之（zhī）內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範（fàn）圍（wéi）之（zhī）內,而且粒徑的中值CMD應該（gāi）正好等於MPPS[理想化],EN1822規定（dìng）偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為（wéi）若幹種,如熱發塵和冷（lěng）發塵,異（yì）凝結發塵和同凝（níng）結發塵,在DPMS的（de）幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓（yā）縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣（qì）溶（róng）膠發生（shēng）器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散（sàn）相異凝結（jié） 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵（chén）+DPMS 多分散電移過濾為單分（fèn）散相 σ=1.1不穩定

從美（měi）國的IEST可以看出他們（men）使用的是第（dì）一種和（hé）第二種,用光度儀測試質量濃度比（bǐ）;而歐（ōu）盟（méng）采用後麵四種（zhǒng）進行測試（shì），更加合理優越。不過問題在於MPPS不可（kě）能（néng）直接測量（liàng）一（yī）個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起（qǐ）來作（zuò）為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說（shuō）法,如果是采用單分散相（xiàng）粒子在測試效（xiào）率（lǜ）的時候是不（bú）計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作為上下遊分（fèn）別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的（de）單分（fèn）散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差（chà）小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就（jiù）不是這麽回事了。因為（wéi）標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒（lì）子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏（lǐ）麵的全部（bù）或者部分（fèn）粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大（dà）值與最小值之（zhī）比為2.5.因（yīn）此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範（fàn）圍或者（zhě）部分。這是因為（wéi）實際的光學粒子計數器（qì）有（yǒu）一個測量精度問題。大家知道（dào）的一般（bān）是（shì）測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的（de）計數結果0.1um-0.2um之間的總數作（zuò）為計量（liàng）基（jī）礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但（dàn）是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上（shàng）任選一組作為劑量範圍.因此實（shí）際的測（cè）試可以（yǐ）在（zài）

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種（zhǒng）情況下進行計（jì）量。

考慮到（dào）實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分（fèn）段裏（lǐ）麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒（lì）子分析儀來（lái）。實際的工程結果（guǒ）是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在（zài）0.09um-0.27um之（zhī）間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間（jiān）的（de）值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子（zǐ）測試時候（hòu）的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用（yòng）於（yú）測定質量濃度的光（guāng）度（dù）計,它不（bú）能計數。因此可以用在DOP方法（fǎ）測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子（zǐ）計數器或者粒徑分析計數（shù）器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測（cè）,它一（yī）般（bān）隻能分段測粒（lì）徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在（zài）一段粒徑之間的。上麵已經（jīng）說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測（cè）出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相（xiàng）的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏（lǐ）麵已經要（yào）求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能（néng）測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一（yī）粒徑的;

4. IEST的測（cè）試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒（lì）子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對（duì）於現場中的（de）DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的（de）結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的（de）測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合（hé）理的.因為這裏的（de）結果已經比0.3um為99.99%在（zài）實驗室要（yào）求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比（bǐ）較保（bǎo）險。

5. EN1822測試方法

對於（yú）H10以上的就需要測試（shì）MPPS了,對於測試方法上麵已經有說（shuō）明,總體（tǐ）而言就是測包（bāo）含MPPS的一（yī）段（duàn）區間粒徑的數量（liàng）;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣（yàng）本,而且不可能全部都（dōu）測.因（yīn）此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區（qū）間的結果。

參考（kǎo）資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關（guān）知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差