曲靖hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的（de）了解（jiě）還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的（de）高效H14，但是對於高（gāo）效過濾器（qì）的一些特性還是不太了解的！

比（bǐ）如效率為針對0.3um的（de）粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少（shǎo）人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或（huò）者（zhě）U15過（guò）濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容（róng）則（zé）是我自己以前整理（lǐ）的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就（jiù）看黑體（tǐ）字就可（kě）以了！！！！

1.從HEPA高效（xiào）過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效（xiào）過濾器

最早的HEPA 的使用來（lái）源於美（měi）國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優（yōu）化自身規範和（hé）標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準（zhǔn）。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率（lǜ）不低於99.97%為高效;EN1882規（guī）定隻要在MPPS的氣溶膠下通過（guò）率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於（yú）局部穿透率可以是整體（tǐ）的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之（zhī）下;
IEST描述
針對以上的兩張表格（gé）,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中（zhōng）徑（jìng）,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量（liàng）大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認（rèn）為（wéi）IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅（jǐn）是針對0.3um的要求.其（qí）實這個規定要求的是質量中徑（jìng）在0.3um的氣溶膠群,也就是（shì）氣溶（róng）膠是（shì）單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的（de）氣溶膠群體,而絕不（bú）是單一（yī）粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑（jìng）,也就是有50%的（de）粒（lì）子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們（men）其（qí）實它（tā）們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的（de）粒（lì）子占有的數量權重（chóng）雖然小,但是質量權重很大。因此（cǐ）在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大（dà）致（zhì）等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料（liào）,比如某一種玻璃纖維做（zuò）實驗室測試的。需要（yào）至少做5次重（chóng）複（fù）試驗。每次試驗（yàn）均要發（fā）單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整（zhěng）體的（de）0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根（gēn）據現在EN1822的統計,絕大（dà）部（bù）分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣（qì）溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶（róng）膠粒徑不（bú）可能保證（zhèng）為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和（hé）粒徑大小沒有直（zhí）接關係，也（yě）就（jiù）是計算結果和粒徑沒有關係.因此91小视频可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對（duì）某一個粒徑的而是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測（cè）試的時候要求測試（shì）一個區間範圍內的所有（yǒu）粒子數量總和;同時也要說明的是不同的（de）過濾（lǜ）風速下MPPS是不同的。出廠前（qián）需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏（lǐ）所隱含（hán）的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵（chén）,在DPMS的幫助下可以保證有單（dān）分散相粒徑（jìng）發出（chū）。

壓縮空氣多分散熱發塵（chén） MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散（sàn）相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結（jié）式氣（qì）溶膠發生器 準單分（fèn）散相自（zì）凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單（dān）分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看（kàn）出他們（men）使用的是第一（yī）種和第（dì）二種（zhǒng）,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四（sì）種進（jìn）行（háng）測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個（gè）粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采（cǎi）用單分散相（xiàng）粒子在測試效率的時候是不（bú）計量粒子分（fèn）徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相（xiàng）也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要（yào）標準差（chà）小於1.5就可以（yǐ）這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在（zài）進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在（zài）上下遊收集的時候,在MPPS已經知（zhī）道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分（fèn）段（duàn）裏麵的全部或者部分粒子數量即（jí）可。

舉例來（lái）說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取（qǔ）MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精（jīng）度問題（tí）。大家（jiā）知道的一般是測量分段為（wéi）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實（shí）際（jì）的結果是（shì）大部分廠（chǎng）家或者測試方最（zuì）終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作（zuò）為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但（dàn）是規範（fàn）也（yě）可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因（yīn）此（cǐ）實際（jì）的（de）測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到（dào）實際的光學粒子（zǐ）分析儀（yí）,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根（gēn）據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選（xuǎn）擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二（èr）種分段發可以在0.09um-0.27um之間選（xuǎn）擇（zé）部（bù）分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標（biāo）準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測（cè）定質量濃度的光（guāng）度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試（shì）H13和H14上麵特別是在現場（chǎng）的時候；

另外一種是用粒子（zǐ）計數器或者粒（lì）徑（jìng）分析（xī）計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻（zhī）能分（fèn）段測粒徑。比如（rú）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什（shí）麽0.111um,0.157um,0.18um這（zhè）樣的粒徑也能分析的一清二（èr）楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間（jiān）的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測（cè）試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實（shí）際測出來的。規定要求測至少六種不同的（de）粒（lì）徑,通過（guò）畫曲線的方（fāng）法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發（fā）生器來測試。因此其實找到的（de）不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經（jīng）要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所（suǒ）以這更（gèng）加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一（yī）粒徑的;

4. IEST的測試方法（fǎ）

對於H13和H14,IEST要求對於其（qí）測試質（zhì）量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的（de）那一個數據（jù）.但是並不需要先檢測（cè）出MPPS值（zhí）。

對於現場中的DOP檢測,很多公司（sī）使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散（sàn）相，因此其實導致的（de）結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已（yǐ）經大於0.3um的要求了。因（yīn）此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室（shì）要求低了。

對於大部分（fèn）的項目而言,還是使用（yòng）H14以上的高效比較保（bǎo）險。

5. EN1822測試方法

對（duì）於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的（de）數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本（běn）,而（ér）且不可能全部（bù）都測.因此實際的結果分析采（cǎi）用了泊鬆分布（bù）的95%置信區間的結果。

參（cān）考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知（zhī）識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準（zhǔn）差/幾何標準差（chà）