泉州hepa高效過濾器

其實很多（duō）人對於高效過濾（lǜ）器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室（shì）要安裝初（chū）效G4+中效F5+中（zhōng）高效F9+末端的（de）高效H14，但是對於高（gāo）效過濾器的一些特性還是（shì）不太了（le）解的！

比（bǐ）如效率為（wéi）針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過（guò）濾器,這句話的詳細意思其實（shí）並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒（lì）子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我（wǒ）自己以前整理的（de）一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾（lǜ）器效（xiào）率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來（lái）源於美（měi）國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前（qián）國家上通（tōng）行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊（jǐn）跟的（de）是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低（dī）於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過（guò）率大於99.95%的就可以,也就是H13以上（shàng）;
EN1822
從圖中可以（yǐ）看到如下信息:EN1882對於局（jú）部穿（chuān）透率可以是整體的5倍這當（dāng）然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述（shù）
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中（zhōng）的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質（zhì）量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量（liàng）大於這個值,50%的質量小於這個（gè）值.

因此不要認為IEST的規（guī）定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是（shì）針（zhēn）對（duì）0.3um的要求.其實（shí）這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣（qì）溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一（yī）個範圍（wéi）內的氣溶膠群（qún）體,而（ér）絕不是單一粒徑的（de）0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也（yě）就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的（de）顆粒們（men）其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大（dà）。因此在IEST上麵（miàn）說99.97%@0.3um其實大致等同於（yú）EN1882的MPPS的顆粒（lì）直徑.這裏也僅僅是類似（sì），不（bú）能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作（zuò）為HEPA的分類劃（huá）入高效係列,不同於以前（qián）的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比（bǐ）如某一種玻璃纖維做（zuò）實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿（mǎn）整（zhěng）體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出（chū）來最低（dī）點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子（zǐ）粒徑（jìng）在0.1um-0.25um之間的（de）某一個值。從商業角度而言,氣（qì）溶膠（jiāo）發生器或者LASKIN噴嘴噴出的（de）氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒（lì）徑粒子（zǐ）,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關（guān）係.因此（cǐ）我（wǒ）們（men）可以認為MPPS的（de）粒（lì）徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑（jìng）的而是針對一個區（qū）間的。這個也就是為什麽MPPS在實際（jì）現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說明（míng）的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出（chū）廠前需要（yào）明確額定濾（lǜ）速是多少.

5).對於實際的（de）MPPS測試（shì）,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒（lì）子總數。這裏所隱（yǐn）含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應（yīng）該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差（chà）不能超過10%;

2.氣（qì）溶膠發生器

氣溶膠發生（shēng）器可以分（fèn）為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同（tóng）凝結發（fā）塵,在DPMS的幫助下可以保證（zhèng）有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分（fèn）散相（xiàng）異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣（qì）溶膠發（fā）生器 準單分散相自（zì）凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美（měi）國的IEST可以看出他們使用的（de）是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比（bǐ）;而歐（ōu）盟采用後麵（miàn）四種進行測試，更加合理（lǐ）優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一（yī）個粒（lì）徑值。其實是一個範圍。很多（duō）工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加（jiā）起（qǐ）來作為（wéi）MPPS的數量考（kǎo）慮應該是符（fú）合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果（guǒ）是采用單分散相粒子在測試（shì）效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以（yǐ）作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注（zhù）意的是單分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了（le）。因為標準差（chà）大（dà）於1.5，因此在進行測（cè）試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需（xū）要注意的是在（zài）上下遊收集（jí）的時候,在MPPS已經知道的（de）情況下,隻（zhī）需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子（zǐ）數量（liàng）即可。

舉例來（lái）說明:現（xiàn）在（zài）EN已（yǐ）經發現MPPS粒子一般（bān）坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的（de）最大（dà）值與最（zuì）小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下（xià）,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量（liàng）精度問題。大（dà）家（jiā）知道的一般（bān）是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大（dà）部分廠家或者測（cè）試方最終的計數結果0.1um-0.2um之（zhī）間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量（liàng）範圍（wéi）在（zài）mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也（yě）可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍（wéi）.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這（zhè）三種情況（kuàng）下進行計（jì）量。

考慮到實際的光（guāng）學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵（miàn）任選一個並且選擇全部的粒子或（huò）者部分的粒子。到底怎（zěn）麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在（zài）0.18um的樣子,因此采用第二種（zhǒng）分段發可以在0.09um-0.27um之間（jiān）選擇部（bù）分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特（tè）別是在現場的時（shí）候；

另外一種是用粒子計數器（qì）或者粒徑（jìng）分析計數器,它既（jì）可以測粒徑也可以測數量（liàng）。不過需要說明的是不能認為它什麽（me）粒（lì）徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析（xī）的（de）一清二楚. 因此實際的接（jiē）收粒子MPPS是在一段粒（lì）徑之間的。上麵已經（jīng）說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低（dī）MPPS的（de）點是曲（qǔ）線找出來的,而不是實際（jì）測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲（qǔ）線的（de）方法（fǎ）找（zhǎo）到最低點MPPS。這種（zhǒng）方法隻能（néng）用單分散相的粒子發生（shēng）器來測（cè）試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間（jiān）;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所（suǒ）以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到（dào）每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可（kě）以了,而對於高要求的U15以上要（yào）求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更（gèng）加不利的那一個數據.但是（shì）並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很（hěn）多公司使用（yòng）TFI的（de）冷發塵,由於其屬於多分散相，因（yīn）此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大（dà）於0.3um的要求了。因此（cǐ）要求現場的測試質量濃度（dù）比（bǐ）為99.99%@H13H14是合理的（de）.因為這裏（lǐ）的結果已經（jīng）比0.3um為99.99%在（zài）實驗室要求低了。

對於大部分的項（xiàng）目而言,還是使（shǐ）用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就（jiù）需要測試MPPS了,對於測試方（fāng）法上麵已（yǐ）經有說明（míng）,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的（de）數量;

6:對測試結（jié）果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測（cè）.因此實際的結果分析（xī）采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中（zhōng）提到了（le）統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差