龍岩hepa高效過濾器（qì）

其實很多（duō）人對於高效（xiào）過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效（xiào）F5+中高效F9+末（mò）端的高效H14，但是（shì）對於高效過濾器的一些（xiē）特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳（xiáng）細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介（jiè）紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的（de）尺寸是什麽？

下麵的內容則（zé）是我自己以前整理的一些筆（bǐ）記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太（tài）懂的就（jiù）看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器（qì）

最早的HEPA 的使用來（lái）源（yuán）於美國軍（jun1）方, 為MIT相關標準。其（qí）後歐洲持續優化（huà）自身規範（fàn）和標準

目（mù）前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大（dà）部分（fèn）項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規（guī）定對於MMD=0.3um的顆（kē）粒的整（zhěng）體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的（de）就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以（yǐ）看到如下信息:EN1882對於局部穿透率（lǜ）可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的（de）粒徑（jìng）考（kǎo）慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小（xiǎo）於這個（gè）值.

因此（cǐ）不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針（zhēn）對0.3um的（de）要（yào）求.其（qí）實這個規定要（yào）求的是質量中徑在0.3um的氣（qì）溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群（qún）體,而絕不是單（dān）一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的（de）顆粒們其實它們的CMD大約（yuē）在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權（quán）重雖然小（xiǎo）,但（dàn）是質量權重（chóng）很大。因此在IEST上麵說（shuō）99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是（shì）類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前（qián）的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高（gāo）效係列,不同於以前（qián）的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室（shì）測試的。需要至少做（zuò）5次重複試驗。每次試驗均要發（fā）單[準（zhǔn）]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體（tǐ）的0.1-0.5um的區間。最後用（yòng）曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分（fèn）的（de）最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間（jiān）的某一個值。從商業角（jiǎo）度（dù）而言（yán）,氣溶膠發生器或者LASKIN噴（pēn）嘴噴出的（de）氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從（cóng）標準差而言.σ1.5為多分散（sàn）。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接（jiē）關係（xì），也就是計算結果（guǒ）和粒徑沒有（yǒu）關係.因此91小视频可以認為（wéi）MPPS的粒徑大小在測試（shì）的時候不是針對某一個粒徑的而是針對（duì）一個區間的。這（zhè）個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時（shí）候要求測試一個區（qū）間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需（xū）要明確額定濾速是多少.

5).對於實際（jì）的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這（zhè）裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在（zài）這個範圍之內,而且粒徑的中（zhōng）值CMD應該正好等於（yú）MPPS[理（lǐ）想化],EN1822規定偏差（chà）不能超過10%;

2.氣（qì）溶膠發生（shēng）器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如（rú）熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發（fā）塵,在DPMS的幫助（zhù）下可以保證（zhèng）有單分散相粒徑發出。

壓（yā）縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分（fèn）散相異凝結 1.05

自由噴（pēn）射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散（sàn）電移過濾為（wéi）單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可（kě）以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量（liàng）濃度（dù）比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多（duō）工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全（quán）部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符（fú）合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範（fàn）圍的。

根據EN1822-5的（de）說法,如果是采（cǎi）用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在（zài）一起就可以作為上下遊分（fèn）別的粒子（zǐ）計數了。但是這裏要注意的是單（dān）分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑（jìng）分布的。隻要標準差（chà）小於（yú）1.5就可以這麽認為了（le）。

對於多分散相就不是這麽回事了（le）。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子（zǐ）粒徑分布和數量。需要注意的是在上下（xià）遊（yóu）收（shōu）集的時候,在MPPS已經知道（dào）的情況（kuàng）下,隻（zhī）需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明（míng）:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大（dà）值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部（bù）分。這是因為實際的光（guāng）學粒子計數器有一（yī）個測量（liàng）精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大（dà）部分廠家或（huò）者測試（shì）方最終的計數（shù）結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量（liàng）基礎。

根據EN1822要求,最（zuì）好的測（cè）量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要（yào）求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組（zǔ）作為（wéi）劑量（liàng）範（fàn）圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學（xué）粒子分析儀（yí）,應該可以在其中三個分段裏麵任選（xuǎn）一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底（dǐ）怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選（xuǎn）擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二（èr）種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇（zé）部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標（biāo）準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有（yǒu）兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種（zhǒng）是用粒子計數器或者粒徑分析計數器（qì）,它（tā）既可（kě）以測粒徑也（yě）可以測（cè）數（shù）量。不過需要說明的是不能認為它什麽粒（lì）徑都能測（cè）,它一般隻能分段測粒（lì）徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家（jiā）想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這（zhè）樣的粒徑也能分析的一清二（èr）楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在（zài）一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試（shì）的最（zuì）低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際（jì）測（cè）出來的。規定要求測至少（shǎo）六種不同的粒徑,通過畫曲（qǔ）線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單（dān）分散相的粒子發生器來測（cè）試。因此其實找到的不是單一粒徑（jìng）,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已（yǐ）經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之（zhī）間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析（xī）隻能（néng）測（cè）試出某一段粒徑之間而絕（jué）不（bú）是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃（nóng）度就可以了,而對於高要（yào）求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀（dú）取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的（de）更加不（bú）利的那一個數據.但是並不需要先檢測（cè）出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使（shǐ）用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散（sàn）相，因此其實導（dǎo）致的結果就（jiù）是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經（jīng）大於0.3um的要求了。因此要求（qiú）現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於（yú）大部分的項目而言,還是使（shǐ）用H14以上的（de）高（gāo）效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需（xū）要（yào）測試（shì）MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總（zǒng）體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析（xī）

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能（néng）全部都測.因此實際（jì）的結果分析采用了泊鬆分布（bù）的95%置信區間的結（jié）果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並（bìng）且（qiě）在資料當中提到了統（tǒng）計學相關知（zhī）識,包括泊（bó）鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差