麗水hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了解還是停留在（zài）表麵上的，

比如隻（zhī）知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃（nóng）度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這（zhè）句（jù）話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的（de）尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理（lǐ）的一些筆記（jì），針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太（tài）懂的就看黑體字就（jiù）可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於（yú）美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自（zì）身規範和標（biāo）準（zhǔn）

目前（qián）國家上（shàng）通行的是（shì）IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標（biāo）準。中國國內大部分項目緊（jǐn）跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的（de）整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就（jiù）是H13以上;
EN1822
從圖中（zhōng）可以看到如（rú）下信息:EN1882對於局部穿透率可（kě）以是整體（tǐ）的5倍這當然是在（zài）MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上（shàng）的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶（róng）膠粒徑分布當中50%的質量大於（yú）這個值,50%的質量小於這個值（zhí）.

因此不要認為（wéi）IEST的規定@0.3um >=99.97% 或（huò）者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其（qí）實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體（tǐ）,而絕不是單一粒徑的（de）0.3um的氣（qì）溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中（zhōng）徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這（zhè）個值。MMD=0.3um的（de）顆粒們（men）其實它們的（de）CMD大約（yuē）在0.2um.這是因（yīn）為大顆粒的粒子占（zhàn）有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因（yīn）此在IEST上麵（miàn）說99.97%@0.3um其實大致等（děng）同於（yú）EN1882的（de）MPPS的顆粒直徑（jìng）.這裏也僅僅是類（lèi）似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為（wéi）HEPA的（de）分類（lèi）劃（huá）入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實（shí）驗室測試的。需要（yào）至少做5次（cì）重複試驗。每（měi）次試驗均要發（fā）單[準]分散相（xiàng）或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低（dī）點。根（gēn）據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透（tòu）的粒子粒（lì）徑在0.1um-0.25um之間的（de）某一個值（zhí）。從商業角度而言,氣溶（róng）膠發生（shēng）器（qì）或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能（néng）保證為唯一粒徑粒子,從標準差而（ér）言.σ1.5為多（duō）分散。需要注意的是（shì）這個（gè）標準（zhǔn）差和粒徑大小沒（méi）有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此91小视频（men）可以認為MPPS的粒徑（jìng）大小在測（cè）試的時候不是針對某一個（gè）粒徑的而是針對一個區間的。這個也就是（shì）為什麽MPPS在（zài）實際現場（chǎng）測試的時（shí）候要（yào）求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說明的是（shì）不同的過（guò）濾風速下MPPS是不同的。出廠（chǎng）前需要明確額定濾速是多少.

5).對（duì）於實際的MPPS測試,一般要求收集（jí）MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒（lì）子總（zǒng）數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正（zhèng）好落在這個範圍（wéi）之內,而（ér）且粒徑（jìng）的中值CMD應該（gāi）正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差（chà）不（bú）能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠（jiāo）發生器可以（yǐ）分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結（jié）發塵和同凝結發（fā）塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相（xiàng）異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散（sàn）相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單（dān）分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾（lǜ）為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的（de）是第一種和第（dì）二種,用光度儀測（cè）試質（zhì）量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更（gèng）加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個（gè）粒（lì）徑值。其實是一個範圍。很多工廠直（zhí）接把（bǎ）0.1-0.2um之間的粒（lì）子數（shù）量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合（hé）MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相（xiàng）粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直（zhí）接把所（suǒ）有的粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是（shì）單分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布的（de）。隻要標準差小（xiǎo）於1.5就可以這麽認為了。

對於多（duō）分散相就不是這麽回（huí）事了。因為標準差大於1.5，因此（cǐ）在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量（liàng）。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般（bān）坐落於0.1um-0.25um之間（jiān）。這個範圍的最大值與最小值之（zhī）比為2.5.因此（cǐ）在EN1822-5的要求下,最好（hǎo）取MPPS/2-MPPS*2的（de）全部範（fàn）圍或者部（bù）分。這是因為（wéi）實際的光學粒子計數（shù）器有一個測量精度（dù）問題。大家知道的一般（bān）是測量分段為（wéi）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方（fāng）最終的計數結果0.1um-0.2um之間（jiān）的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是（shì）規範（fàn）也（yě）可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際（jì）的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這（zhè）三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分（fèn）段（duàn）裏麵任選一（yī）個並且選擇全部的粒子（zǐ）或者（zhě）部分的粒子。到底怎（zěn）麽選（xuǎn）根據實際（jì）的粒子分析儀來。實際的工程（chéng）結果是選（xuǎn）擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在（zài）0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之（zhī）間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說（shuō）明。

3:接收方法

一般有兩（liǎng）種方法。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它不能計（jì）數（shù）。因此可以用（yòng）在DOP方法測試H13和H14上麵特別（bié）是（shì）在現場的時候；

另外一（yī）種是用（yòng）粒子計（jì）數器或者（zhě）粒徑分（fèn）析計（jì）數器,它既（jì）可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能（néng）測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而（ér）不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的（de）粒徑也（yě）能分析（xī）的一清二楚. 因（yīn）此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵（miàn）已經說過了。

這是因（yīn）為EN1822-3對於濾料測試的（de）最低MPPS的點是曲線（xiàn）找出來的（de）,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找（zhǎo）到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實（shí）找到的不是（shì）單一粒徑（jìng）,而是一個區間;

並且在（zài）EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了（le）MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段（duàn）粒徑之間而絕（jué）不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於（yú）H13和H14,IEST要（yào）求對於其測試質（zhì）量濃度（dù）就可以了（le）,而對於高要（yào）求的U15以上要（yào）求用粒子計數器（qì）,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更（gèng）加不利的那一個數據（jù）.但是並不需要先檢測出MPPS值（zhí）。

對於現場（chǎng）中的（de）DOP檢測,很多公司使用（yòng）TFI的冷發塵,由於其（qí）屬於（yú）多（duō）分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場（chǎng）的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於（yú）大部分的項（xiàng）目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法（fǎ）

對於H10以上的就需要測（cè）試MPPS了,對於（yú）測（cè）試方法上麵已經有說明,總體而言就是（shì）測包含MPPS的一段（duàn）區間粒徑的數量;

6:對測試（shì）結（jié）果的分析

由於（yú）現場測試的（de）隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考（kǎo）資（zī）料（liào）

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資（zī）料當中提（tí）到了統計學相關知識,包括泊（bó）鬆分（fèn）布/95%置（zhì）信區間/標準差/幾何標準差