晉中hepa高效過濾器

其實很多人對於高效（xiào）過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝（zhuāng）初效G4+中效F5+中（zhōng）高效（xiào）F9+末（mò）端的高效H14，但是對於高效過濾（lǜ）器的一些特性還是（shì）不太了解的（de）！

比如效率（lǜ）為針對0.3um的（de）粒子（zǐ）其濃（nóng）度不（bú）低於（yú）99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下（xià）麵的內容則是我自己（jǐ）以前整理的一（yī）些筆記，針對高效過（guò）濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑（hēi）體字就（jiù）可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源（yuán）於（yú）美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐（ōu）洲（zhōu）持續優（yōu）化自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的（de）整體效率（lǜ）不低於99.97%為高效;EN1882規定（dìng）隻要在MPPS的氣（qì）溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上（shàng）;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透（tòu）率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考（kǎo）慮之下;
IEST描述
針對以（yǐ）上（shàng）的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的（de）是粒子質量中（zhōng）徑,也就是所有的氣溶（róng）膠粒徑分布當中50%的（de）質量大於這個值,50%的質（zhì）量（liàng）小於這個值.

因此不要認為IEST的規定（dìng）@0.3um >=99.97% 或者（zhě）@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定（dìng）要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的（de）氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指（zhǐ）的是粒（lì）子尺寸中徑（jìng）,也就是有50%的粒（lì）子大於這個值.50%的粒子小（xiǎo）於（yú）這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量（liàng）權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能（néng）完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均（jun1）作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的（de）EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料（liào）,比如某一（yī）種（zhǒng）玻璃纖維做實驗室測試的。需（xū）要至（zhì）少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者（zhě）多分散相的（de）粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後（hòu）用曲線做出（chū）來最低點。根據現在EN1822的統計（jì）,絕大部分的（de）最易穿透的粒子粒（lì）徑在0.1um-0.25um之（zhī）間的某一個值。從商業角度而（ér）言,氣（qì）溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴（pēn）出的氣（qì）溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準（zhǔn）差和粒徑大小沒有（yǒu）直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有（yǒu）關係.因此91小视频可（kě）以認為MPPS的粒（lì）徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這個也（yě）就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求（qiú）測試一（yī）個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風（fēng）速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定（dìng）濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一（yī）般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所（suǒ）有粒子總數。這裏所隱含（hán）的條件是氣溶膠的（de）發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑（jìng）的中值CMD應該正好（hǎo）等於MPPS[理（lǐ）想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發（fā）生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異（yì）凝結發塵和（hé）同凝結發塵（chén）,在DPMS的幫（bāng）助下（xià）可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發（fā）塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多（duō）分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝（níng）結式氣溶膠發生（shēng）器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵（chén）+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二（èr）種,用光（guāng）度儀測試質（zhì）量濃度比;而歐盟采用後麵四種進（jìn）行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可（kě）能直接測量一（yī）個粒徑值（zhí）。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒（lì）子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範（fàn）圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測（cè）試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作為（wéi）上下遊分別的粒子（zǐ）計數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單分散相還是有各種（zhǒng）粒（lì）徑分布的。隻要標準（zhǔn）差小於1.5就可以這麽認為（wéi）了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為（wéi）標準差大於1.5，因此在（zài）進行測試的時候要求同時（shí）測粒子粒徑分（fèn）布和數（shù）量。需要（yào）注意的是在上下遊收集的時候,在（zài）MPPS已（yǐ）經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵（miàn）的全部或（huò）者部分粒子數量即（jí）可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與（yǔ）最小值之比（bǐ）為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家（jiā）知道的一般是測（cè）量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的（de）結果是大部分廠家（jiā）或者測試方最終的計數結果（guǒ）0.1um-0.2um之（zhī）間的總（zǒng）數作為計量基礎。

根據EN1822要（yào）求,最好的測（cè）量範圍在（zài）mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規（guī）範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍（wéi）.因此實（shí）際（jì）的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行（háng）計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段（duàn）裏麵（miàn）任選一（yī）個並且選擇（zé）全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒（lì）子（zǐ）分析儀來。實際的工程（chéng）結果是（shì）選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采（cǎi）用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對（duì）多分散粒子測試時候的（de）分析與說明。

3:接收方法

一（yī）般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可（kě）以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場（chǎng）的時候；

另外一種是用粒（lì）子計數器或者粒（lì）徑分析（xī）計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需（xū）要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵（miàn）已經說過了。

這（zhè）是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際（jì）測出來的。規定要（yào）求測至少六種不同的粒徑,通過（guò）畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用（yòng）單分散相的粒子發生（shēng）器來測試（shì）。因此其實（shí）找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且（qiě）在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加（jiā）說明了是粒子分析（xī）隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和（hé）H14,IEST要求（qiú）對於其測試質（zhì）量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求（qiú）用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或（huò）者（zhě）0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要（yào）先檢測（cè）出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使（shǐ）用TFI的冷發塵（chén）,由於其屬於（yú）多（duō）分散相，因此其實（shí）導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要（yào）求（qiú）了。因此要求現場的測試質量濃（nóng）度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還（hái）是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法（fǎ）上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結（jié）果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆（sōng）分布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提（tí）到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差