荊門hepa高（gāo）效過濾器

其實很多人對（duì）於高效過濾器的（de）了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝（zhuāng）初（chū）效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器（qì）的一些（xiē）特性還是不太了解的！

比如（rú）效率為針對0.3um的粒子其濃度不（bú）低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子（zǐ）的尺寸是什麽（me）？

下麵（miàn）的（de）內容則是我自己以前（qián）整理的一些筆記，針對高效過濾（lǜ）器的一（yī）些詳細介紹。

不（bú）太懂（dǒng）的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高（gāo）效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾（lǜ）器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標（biāo）準。其後歐（ōu）洲（zhōu）持續優化（huà）自身規範和標準

目前（qián）國家上通（tōng）行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分（fèn）項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆（kē）粒的（de）整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的（de）氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也（yě）就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析（xī）如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的（de）是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布（bù）當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因（yīn）此（cǐ）不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群（qún）,也就是氣溶膠是（shì）單（dān）分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體（tǐ）,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸（cùn）中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版（bǎn）的EN1822-2009把以前的（de）E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃（huá）入高效係列,不同（tóng）於（yú）以前的EN1822-2000;

4).MPPS到（dào）底是多少,是需要對某一種濾料（liào）,比如（rú）某一種玻璃纖維做實驗室（shì）測試的。需要至少做（zuò）5次重複試（shì）驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之（zhī）間的（de）某（mǒu）一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生（shēng）器或者LASKIN噴嘴噴出（chū）的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一（yī）粒（lì）徑粒子,從標（biāo）準（zhǔn）差而（ér）言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小（xiǎo）沒有直接關係，也就是（shì）計算結果和（hé）粒徑沒有（yǒu）關係.因此91小视频可以認為MPPS的粒徑大（dà）小在測試的時候不（bú）是針（zhēn）對某一個粒徑（jìng）的而是針對一個區間的。這個也就是為什（shí）麽MPPS在實際現場測（cè）試的時候要求測試一個區間範圍內（nèi）的所（suǒ）有（yǒu）粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾（lǜ）風速下MPPS是不同（tóng）的。出（chū）廠前需要明確（què）額定濾速是多少.

5).對於（yú）實際的MPPS測試,一（yī）般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範（fàn）圍之內的所有粒子總（zǒng）數（shù）。這裏所隱含的條件是氣溶膠（jiāo）的發塵應該正好落（luò）在這個範圍之內,而且粒（lì）徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可（kě）以分為若幹種,如熱（rè）發（fā）塵和冷發（fā）塵,異凝結發塵（chén）和（hé）同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證（zhèng）有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多（duō）分散冷發塵（chén） MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單（dān）分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單（dān）分（fèn）散相異凝結 1.05

自由噴（pēn）射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵（chén）+DPMS 多分散電移過濾為單分散相（xiàng） σ=1.1不穩（wěn）定（dìng）

從美（měi）國的IEST可以看（kàn）出（chū）他們（men）使用的是第一種和第二種,用光度（dù）儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合（hé）理優越。不過問題（tí）在於MPPS不可能直接測（cè）量（liàng）一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把（bǎ）0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量（liàng）考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如（rú）果是采（cǎi）用（yòng）單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把（bǎ）所（suǒ）有的粒（lì）子（zǐ）數量加在（zài）一起就可以作為（wéi）上下遊（yóu）分別的粒子計（jì）數了（le）。但是這裏要注意的是單分（fèn）散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小（xiǎo）於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為（wéi）標準差（chà）大於1.5，因此在進行測試（shì）的時候要求同時（shí）測粒子粒（lì）徑分布和數量。需要注意的是在上下遊（yóu）收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分（fèn）粒（lì）子數量即可（kě）。

舉例來說（shuō）明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範（fàn）圍的（de）最大值與最（zuì）小值之比為2.5.因（yīn）此在EN1822-5的要（yào）求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或（huò）者部分。這是因為實際的光（guāng）學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所（suǒ）以實際的結果是大部分廠家或者（zhě）測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的（de）分段（duàn）上任選一組作為劑量範圍（wéi）.因（yīn）此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析（xī）儀來（lái）。實際的工程（chéng）結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分（fèn）MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇（zé）部分也（yě）就是0.1um-0.2um之間的值（zhí）作為劑量標準。

以上是對多分（fèn）散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方（fāng）法。

一（yī）種（zhǒng）是用於測定（dìng）質量濃度的光度計,它不（bú）能計數。因此可以用在（zài）DOP方法測（cè）試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大（dà）家（jiā）想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑（jìng）也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子（zǐ）MPPS是（shì）在一段粒徑之間（jiān）的。上麵已經說過了（le）。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到的不（bú）是單一粒徑,而（ér）是一個（gè）區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒（lì）徑（jìng）的;

4. IEST的測試方法

對（duì）於H13和H14,IEST要求對於（yú）其測試質量濃（nóng）度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取（qǔ）0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩（liǎng）組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測（cè）出MPPS值。

對於（yú）現場中的DOP檢測,很多公司使用（yòng）TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求（qiú）了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低（dī）了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以（yǐ）上的高效比較保險。

5. EN1822測（cè）試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試（shì）方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的（de）數量;

6:對（duì）測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結（jié）果。

參考（kǎo）資（zī）料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在（zài）資料（liào）當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差