揭陽hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了（le）解還是停（tíng）留在表麵上的，

比如隻知道（dào）潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中（zhōng）高效F9+末端的高效H14，但是對於（yú）高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效（xiào）率為針對0.3um的（de）粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級（jí）別（bié）高效過濾器（qì）,這句話的詳（xiáng）細意思其實並沒（méi）有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試（shì）粒子的尺寸是什麽？

下麵（miàn）的內容則是我（wǒ）自己以（yǐ）前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就（jiù）看黑體字（zì）就（jiù）可（kě）以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最（zuì）早的（de）HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相（xiàng）關標準。其後歐洲持續（xù）優化自身規範和標準（zhǔn）

目前國（guó）家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項（xiàng）目緊跟的是EN1822標準（zhǔn）。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效（xiào）率不低（dī）於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從（cóng）圖中可以看（kàn）到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以（yǐ）是（shì）整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分（fèn）布當中50%的質量大於（yú）這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的（de）規定@0.3um >=99.97% 或（huò）者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而（ér）絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中（zhōng）徑,也（yě）就是有50%的粒子（zǐ）大於這（zhè）個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們（men）其實它們的CMD大約在0.2um.這是（shì）因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權（quán）重很大。因（yīn）此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能（néng）完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係（xì）列,不（bú）同於以（yǐ）前（qián）的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一（yī）種玻璃纖維做實驗室測（cè）試（shì）的。需要至少做5次重複試驗。每次（cì）試（shì）驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用（yòng）曲線做出（chū）來最低點。根據現在EN1822的統（tǒng）計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間（jiān）的某一個值（zhí）。從商業角度而言,氣溶膠發生器（qì）或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶（róng）膠（jiāo）粒徑（jìng）不可（kě）能保證為唯一粒徑粒子,從標（biāo）準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑（jìng）大小沒有直接關係，也就是計算（suàn）結果和粒徑沒有關係.因（yīn）此91小视频可以（yǐ）認為MPPS的粒徑大小在測試的時（shí）候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間（jiān）範圍內的（de）所有粒子數（shù）量總和;同時（shí）也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少（shǎo）.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有（yǒu）粒子總數。這裏所隱（yǐn）含的條件是氣溶膠的發（fā）塵應該正好落在這個範圍（wéi）之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等（děng）於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不（bú）能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種（zhǒng）,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下（xià）可以保證有單分散相（xiàng）粒徑發（fā）出。

壓縮空氣多（duō）分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多（duō）分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分（fèn）散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生（shēng）器 單分散相異凝（níng）結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生（shēng）器 準（zhǔn）單分散相自凝結 σ=1.5

氣（qì）溶（róng）膠發塵+DPMS 多（duō）分散電移過濾為單分散（sàn）相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的（de）是第一種和（hé）第二種,用光度儀測試（shì）質量（liàng）濃度比;而歐盟采用後麵四（sì）種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實（shí）是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的（de）粒子數量全部加起來（lái）作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單（dān）分散相粒子在（zài）測試效率的時候是（shì）不計量粒子分徑的。直接把所有（yǒu）的粒（lì）子數量加在一起就可以作為（wéi）上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也（yě）不是（shì）真正的單（dān）分散相（xiàng）還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以（yǐ）這麽認為了（le）。

對於多分（fèn）散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試（shì）的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情（qíng）況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分（fèn）段裏麵的（de）全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於（yú）0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大（dà）值與最小值之（zhī）比為2.5.因此在EN1822-5的要求（qiú）下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部（bù）範圍或者部分（fèn）。這是（shì）因為實際的（de）光學粒子計（jì）數器有一個測（cè）量精度問題。大家知道的一般（bān）是測（cè）量分段為（wéi）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分（fèn）廠家或者測（cè）試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數（shù）作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的（de）測（cè）量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間（jiān）。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或（huò）者（zhě）在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可（kě）以（yǐ）在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況（kuàng）下進行計量。

考慮到實（shí）際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵（miàn）任選一個並且選擇全（quán）部的粒子或者部分的粒（lì）子。到底怎麽（me）選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子（zǐ）,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量（liàng）標準。

以上是對多（duō）分散粒子測試時候的分析（xī）與說（shuō）明。

3:接收方法

一（yī）般有兩種方法。

一種是用於（yú）測定質量濃度的光度計,它不能（néng）計數。因此可（kě）以用在（zài）DOP方法測（cè）試H13和H14上麵（miàn）特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器（qì）或者粒徑分析（xī）計數器,它既可以測粒徑也（yě）可以測（cè）數量。不過需要（yào）說明的（de）是不能（néng）認為（wéi）它什麽粒徑都能測,它一般隻（zhī）能分段測粒徑。比（bǐ）如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的（de）什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣（yàng）的粒徑也能分析的一清（qīng）二楚. 因（yīn）此（cǐ）實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑（jìng）之間的。上（shàng）麵（miàn）已經說（shuō）過了。

這（zhè）是因（yīn）為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的（de）,而不是實際（jì）測出來的（de）。規定要求測至少六種不同的（de）粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散（sàn）相的粒子發生器來測試（shì）。因此其實（shí）找到的不（bú）是（shì）單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已（yǐ）經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的（de）粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試（shì）出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要（yào）求對於其測試質量（liàng）濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要（yào）求用粒子計數器,並且直接讀（dú）取0.1um-0.2um或者（zhě）0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需（xū）要先檢測出MPPS值。

對（duì）於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多（duō）分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試（shì）質量濃（nóng）度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這（zhè）裏的結果已經比0.3um為99.99%在實（shí）驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有（yǒu）說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間（jiān）粒徑的（de）數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而（ér）且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資（zī）料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識（shí）,包括（kuò）泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標（biāo）準（zhǔn）差