嘉興hepa高效（xiào）過濾器

其實很多人對於（yú）高效過濾器（qì）的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾（lǜ）器的一些特性（xìng）還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級（jí）別高效過濾器,這句話（huà）的詳細意思其實（shí）並沒有多少人（rén）思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾（lǜ）器的測試粒子的尺寸是（shì）什麽？

下麵的內容則是我自（zì）己以前整理（lǐ）的一些（xiē）筆（bǐ）記，針對高效過濾器的一些詳細介紹（shào）。

不太懂（dǒng）的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效（xiào）率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍（jun1）方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準（zhǔn）

目前國（guó）家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標（biāo）準。中國國內大部分項目緊跟的（de）是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在（zài）MPPS的（de）氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是（shì）整體的（de）5倍（bèi）這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針（zhēn）對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中（zhōng）50%的質量大於（yú）這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或（huò）者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的（de）要求.其實這個規定要求（qiú）的是質量中（zhōng）徑在（zài）0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者（zhě）多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒（lì）徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的（de）是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小（xiǎo）於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們（men）的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒（lì）的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量（liàng）權重很大。因此在（zài）IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅（jǐn）是類似，不能完全（quán）等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為（wéi）HEPA的分（fèn）類劃入（rù）高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至（zhì）少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線（xiàn）做（zuò）出來（lái）最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑（jìng）在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠（jiāo）發生器或者LASKIN噴嘴噴出的（de）氣（qì）溶膠粒徑不可能保證為唯（wéi）一粒（lì）徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算（suàn）結（jié）果（guǒ）和粒（lì）徑沒有關係.因此91小视频可（kě）以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對（duì）某一（yī）個粒徑的而是針對一個區間（jiān）的。這個也就（jiù）是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說（shuō）明的（de）是不同的（de）過濾風速下MPPS是（shì）不同的。出廠前需要（yào）明確（què）額定濾速是多少.

5).對於實際的（de）MPPS測試,一般要（yào）求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總（zǒng）數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該（gāi）正（zhèng）好等於MPPS[理想化（huà）],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器（qì）

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱（rè）發塵和冷發（fā）塵（chén）,異凝結發（fā）塵和同凝結發（fā）塵,在DPMS的幫助下（xià）可以保證有單分散相粒徑發出（chū）。

壓縮（suō）空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶（róng）膠發生器 單分（fèn）散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器（qì） 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝（níng）結式氣溶膠發生器 準單（dān）分散（sàn）相自凝結（jié） σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過（guò）濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們（men）使用的是第一（yī）種和第二種,用光度儀測試（shì）質量（liàng）濃度比;而（ér）歐（ōu）盟采用後（hòu）麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒（lì）徑值。其實是一（yī）個範圍。很（hěn）多工廠直接把0.1-0.2um之間的（de）粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒（lì）子在（zài）測（cè）試效率的時候是不計量粒子分（fèn）徑的。直接把所有的粒（lì）子數量加在（zài）一起就可以作（zuò）為上下遊分（fèn）別的粒子計數了。但（dàn）是這（zhè）裏要注意的是單分（fèn）散相也（yě）不是真正的（de）單分散相還是有各種（zhǒng）粒徑分（fèn）布的。隻要（yào）標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多（duō）分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊（yóu）收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數（shù）量即可。

舉（jǔ）例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範（fàn）圍（wéi）的最大值與最小值之（zhī）比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者（zhě）部分。這是因（yīn）為實際的光學粒子計數（shù）器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所（suǒ）以實際的結果是大部分廠家（jiā）或者測試方最終的計數（shù）結果0.1um-0.2um之（zhī）間（jiān）的總數作為計量（liàng）基礎。

根據EN1822要求,最（zuì）好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可（kě）以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑（jì）量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種（zhǒng）情況下（xià）進行計量。

考（kǎo）慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏（lǐ）麵任選一個並且選擇全部（bù）的粒子或者部分的粒子。到（dào）底（dǐ）怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之（zhī）間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第（dì）二種分（fèn）段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就（jiù）是0.1um-0.2um之（zhī）間的值作為劑（jì）量標（biāo）準。

以上（shàng）是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的光度（dù）計,它（tā）不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用（yòng）粒子計數器或者粒徑分（fèn）析計數器,它既可（kě）以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分（fèn）析的（de）一清二楚. 因此實（shí）際的接收粒子（zǐ）MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因（yīn）為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出（chū）來的,而不是實際測出來的（de）。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器（qì）來測試。因此其實找到的不是（shì）單一粒（lì）徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和（hé）EN1822-5裏麵（miàn）已經要求（qiú）了（le）MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子（zǐ）分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃（nóng）度就可以了,而對於高要求的（de）U15以上要求用粒子（zǐ）計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加（jiā）不利的那一個數據.但是並不需要先（xiān）檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公（gōng）司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分（fèn）散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了（le）。因此要求現場（chǎng）的測試質量濃度（dù）比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經（jīng）比0.3um為99.99%在實（shí）驗室（shì）要求低了（le）。

對於大部分的項（xiàng）目而言,還是使（shǐ）用H14以上的高效比較（jiào）保險。

5. EN1822測（cè）試方法

對於H10以上的就需（xū）要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的（de）隻能（néng）是樣本,而（ér）且不可（kě）能全部都測（cè）.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置（zhì）信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關（guān）知識,包括泊鬆分布/95%置（zhì）信區間/標準差/幾何標準差