淮北hepa高效過濾器

其實很多人對（duì）於高（gāo）效過濾器的了解還是停留在表麵（miàn）上的，

比如隻知道潔淨（jìng）室要安裝初效（xiào）G4+中效（xiào）F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效（xiào）過濾器的（de）一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話（huà）的詳細意思其（qí）實並沒（méi）有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是（shì）我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介（jiè）紹。

不太懂的就看（kàn）黑體字就可以了（le）！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為（wéi）高效過濾器（qì）

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相（xiàng）關標準。其後歐洲持續優化自身（shēn）規範（fàn）和標準

目前（qián）國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三（sān）大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的（de）氣溶膠下通過率大（dà）於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於（yú）局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上（shàng）的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的（de）是粒子質量中徑,也就是所有（yǒu）的氣溶膠粒徑（jìng）分布當中50%的質（zhì）量大於這個值（zhí）,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單（dān）分散相或（huò）者多分散相的,是（shì）一個範圍內的氣溶膠（jiāo）群體,而絕不是單（dān）一粒徑的（de）0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個（gè）值。MMD=0.3um的顆（kē）粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是（shì）因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很（hěn）大。因此在IEST上（shàng）麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃（huá）入（rù）高效係列,不同於以前的（de）EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種（zhǒng）濾料（liào）,比如某一種（zhǒng）玻璃纖維做實驗室測（cè）試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散（sàn）相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間（jiān）。最後用曲線做出（chū）來最低點（diǎn）。根據現在EN1822的統計,絕大部分的（de）最易穿透的粒子（zǐ）粒（lì）徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠（jiāo）發生（shēng）器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒（lì）子,從標準（zhǔn）差而言.σ1.5為多分散。需要（yào）注意的是這個標（biāo）準差和（hé）粒（lì）徑大小沒有（yǒu）直接關係，也就（jiù）是計（jì）算結果（guǒ）和粒徑沒有關係.因此91小视频可以（yǐ）認為MPPS的粒徑大（dà）小在測試的時候不是針對某（mǒu）一個（gè）粒徑的而是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要（yào）求測試一個區（qū）間範圍內的所有粒子數量總和;同時（shí）也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確（què）額定濾速是多少.

5).對於（yú）實際（jì）的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這（zhè）裏所隱含的條件（jiàn）是氣溶膠的發（fā）塵應該正好落在這個範（fàn）圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想（xiǎng）化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以（yǐ）分（fèn）為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散（sàn）相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾（lǜ）為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看（kàn）出他們（men）使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行（háng）測試，更加合理優越（yuè）。不過問題在於（yú）MPPS不可能（néng）直接測量一個粒徑值（zhí）。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采（cǎi）用單分散相粒子在測試效率的（de）時候是不計量粒子分徑的。直（zhí）接把（bǎ）所有的粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的（de）粒子（zǐ）計數了。但是這裏要注意的是單（dān）分散相也不是真正的單分散相（xiàng）還是（shì）有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部（bù）或者（zhě）部分粒子數量即可。

舉例來說明:現（xiàn）在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值（zhí）之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下（xià）,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學（xué）粒子計（jì）數器有一個測量（liàng）精度問題。大家知道的（de）一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大（dà）部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的（de）總數（shù）作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組（zǔ）作為（wéi）劑量範（fàn）圍.因此實際的測試可（kě）以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進（jìn）行計量。

考慮到實際的（de）光學粒子分析儀,應該可以（yǐ）在（zài）其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分（fèn）的粒子。到底（dǐ）怎麽選（xuǎn）根據實（shí）際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的（de）。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選（xuǎn）擇部分（fèn）也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子（zǐ）測試時候的分析與說（shuō）明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於（yú）測定質量（liàng）濃度的光度計,它不（bú）能計數。因此可以（yǐ）用在（zài）DOP方法測試H13和H14上麵特別是在（zài）現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既（jì）可以測粒徑也可以測數量（liàng）。不過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能（néng）分段測粒徑。比如（rú）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因（yīn）此實際的接收粒子（zǐ）MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找（zhǎo）出來的,而（ér）不是實（shí）際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的（de）方法找到最（zuì）低點MPPS。這（zhè）種方（fāng）法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是（shì）一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的（de）粒徑,所以這更加說明了是粒子（zǐ）分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不（bú）是細到（dào）每一粒徑的（de）;

4. IEST的測（cè）試（shì）方（fāng）法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取（qǔ）0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中（zhōng）的更加不利（lì）的那一（yī）個數據.但是並不（bú）需要先檢測出MPPS值。

對於（yú）現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於（yú）多分散（sàn）相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測（cè）試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對（duì）於大部分的項（xiàng）目而言,還是使用H14以上的高效比較保（bǎo）險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有（yǒu）說（shuō）明,總體（tǐ）而言就是測包含MPPS的一段（duàn）區（qū）間粒徑（jìng）的數（shù）量（liàng）;

6:對測（cè）試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中（zhōng）提到了統計（jì）學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標（biāo）準差/幾何標準（zhǔn）差