河源hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了解還是（shì）停留在表麵上的，

比如隻（zhī）知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高（gāo）效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的（de）粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並（bìng）沒有多少人思考（kǎo）！

比如MPPS方法介（jiè）紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以（yǐ）前（qián）整理的一些筆記，針對高效過濾（lǜ）器的一些詳細介（jiè）紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為（wéi）高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相（xiàng）關標準。其後歐洲持（chí）續優化自（zì）身規（guī）範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體（tǐ）效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣（qì）溶膠下通過率大於（yú）99.95%的就可（kě）以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考（kǎo）慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張（zhāng）表格,分（fèn）析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子（zǐ）質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑（jìng）分（fèn）布當中50%的質量大於這（zhè）個值,50%的質量小（xiǎo）於這個值.

因此不要認為（wéi）IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要（yào）求（qiú）.其實這個規定要求的（de）是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍內（nèi）的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的（de）氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就（jiù）是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子（zǐ）占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等（děng）同（tóng）於（yú）EN1882的MPPS的顆粒直（zhí）徑.這（zhè）裏也僅僅是類（lèi）似，不能完全等同。

3).新（xīn）版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均（jun1）作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一（yī）種玻璃纖維做實驗室測（cè）試的。需要至少做5次重（chóng）複試驗。每次試驗均要發單[準]分（fèn）散相或者（zhě）多分散相的粒子,布滿整體的（de）0.1-0.5um的（de）區間。最後用曲線做出來（lái）最低點。根據現在（zài）EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言（yán）,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出（chū）的（de）氣溶膠粒徑不可能保證為唯（wéi）一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要（yào）注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此91小视频可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑（jìng）的而是針對（duì）一個區間的。這個（gè）也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一（yī）個區間範圍內的所有粒子（zǐ）數量總和;同時也要說明的是不（bú）同的過濾（lǜ）風速下（xià）MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內（nèi）的所有粒子總數。這裏所（suǒ）隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之（zhī）內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶（róng）膠發生器

氣溶膠（jiāo）發生（shēng）器（qì）可以分為若幹種,如熱發（fā）塵和（hé）冷發塵,異凝結（jié）發塵和（hé）同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證（zhèng）有（yǒu）單分散相粒徑發出（chū）。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝（níng）結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單（dān）分散相異凝結 1.05

自由（yóu）噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相（xiàng）自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單（dān）分散相 σ=1.1不穩定

從（cóng）美國（guó）的IEST可以看出他（tā）們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度（dù）比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不（bú）可（kě）能直接測量一個粒徑值（zhí）。其實是一個範圍（wéi）。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據（jù）EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時（shí）候是不計量粒（lì）子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以（yǐ）作（zuò）為上下遊分（fèn）別的（de）粒子計數了。但是這（zhè）裏要注意的是單（dān）分散相也不是真正的單分散相還是有（yǒu）各種粒徑分布的。隻要標準差小（xiǎo）於1.5就可以（yǐ）這麽認為（wéi）了。

對於多分（fèn）散相就不是這麽回事了。因為（wéi）標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量（liàng）。需（xū）要注意（yì）的是在上下遊（yóu）收（shōu）集的時候,在MPPS已經知道的情況下（xià）,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數（shù）量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現（xiàn）MPPS粒子一般坐落於（yú）0.1um-0.25um之間。這個範圍（wéi）的最大（dà）值與最小值之比（bǐ）為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍（wéi）或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精（jīng）度問（wèn）題（tí）。大家知（zhī）道的一般是（shì）測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等（děng）等。所以實際的結果是大部分廠家或（huò）者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間（jiān）的總數作為（wéi）計量基礎。

根據EN1822要（yào）求（qiú）,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以（yǐ）要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在（zài）mpps*1.5-mpps*2的分段（duàn）上任選一組作為劑量範圍.因（yīn）此實際的測試可以（yǐ）在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這（zhè）三種情況下進行（háng）計量。

考（kǎo）慮到（dào）實際的光（guāng）學粒子分析（xī）儀,應該可以在其中（zhōng）三個分段裏（lǐ）麵任（rèn）選一個並且選擇全部的（de）粒子或者部分的（de）粒子。到底怎麽選根據（jù）實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選（xuǎn）擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采（cǎi）用第二種分段發（fā）可以在0.09um-0.27um之間（jiān）選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的（de）值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的（de）分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是（shì）用於測定質量濃度（dù）的光度計,它不能計數。因（yīn）此可以用（yòng）在DOP方法（fǎ）測試H13和H14上麵特別是（shì）在現場的時候；

另外一（yī）種是用粒子計數（shù）器或者粒徑分析計數器（qì）,它既可以測粒徑也可以測數量。不過（guò）需要（yào）說明的（de）是不能認（rèn）為它（tā）什麽粒徑都能測,它一般（bān）隻能（néng）分段測粒（lì）徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什（shí）麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的（de）。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對（duì）於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而（ér）不（bú）是實際測出來的。規定要求測至（zhì）少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到（dào）最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因（yīn）此其實（shí）找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求（qiú）了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間（jiān）的粒徑,所以這更加說明了是粒子分（fèn）析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的（de）測試方法（fǎ）

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度（dù）就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接（jiē）讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩（liǎng）組中（zhōng）的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值（zhí）。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其（qí）屬於多分散相，因此其實導致的結果就是（shì）CMD在0.4um,MMD在（zài）0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為（wéi）99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實（shí）驗（yàn）室要求（qiú）低了。

對於大部分的項目而（ér）言,還是使用H14以上的高效比較保險（xiǎn）。

5. EN1822測試方法

對（duì）於H10以上的就（jiù）需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一（yī）段區間粒徑的數量;

6:對測試（shì）結果的分（fèn）析

由（yóu）於現場測（cè）試的（de）隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際（jì）的結（jié）果分析采用了泊鬆分布的95%置信區（qū）間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識（shí）,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差