衡陽hepa高效過濾器（qì）

其實很多人對於高效過濾器的了解還是停留在表麵（miàn）上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效（xiào）F9+末端的高效H14，但是（shì）對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這（zhè）句話的詳細（xì）意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹（shào）的H14或者U15過濾器的測試粒子（zǐ）的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自（zì）己以前（qián）整（zhěng）理的一（yī）些筆記，針對高效過（guò）濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從（cóng）HEPA高效過（guò）濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的（de）HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中（zhōng）國國內（nèi）大部分項目（mù）緊跟的是（shì）EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率（lǜ）不低於99.97%為高效;EN1882規定（dìng）隻要在（zài）MPPS的氣溶膠下通過（guò）率大於99.95%的就可（kě）以（yǐ）,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以（yǐ）看到如下信息:EN1882對於局部穿（chuān）透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的（de）是粒子質量中徑,也就是所有的氣（qì）溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這（zhè）個值,50%的質量小於這個值.

因（yīn）此不要認為IEST的規（guī）定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅（jǐn）僅是針對0.3um的要求.其實（shí）這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠（jiāo）群,也就是氣溶膠是單分（fèn）散相或（huò）者多分散（sàn）相的,是一個（gè）範圍（wéi）內的氣溶膠群體,而絕（jué）不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個（gè）值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們（men）其實它們的（de）CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的（de）粒子占有的數量（liàng）權重雖然（rán）小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的（de）MPPS的顆粒直徑.這裏也（yě）僅僅是（shì）類似，不能完全等（děng）同。

3).新版的（de）EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為（wéi）HEPA的分類劃（huá）入高效係列（liè）,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每（měi）次試驗均要發單[準]分（fèn）散相（xiàng）或者多分散相的粒子,布滿整體的（de）0.1-0.5um的區間。最後用曲線做（zuò）出來（lái）最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透（tòu）的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角（jiǎo）度而言,氣溶膠發（fā）生器或者LASKIN噴嘴噴出的（de）氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為（wéi）多分散（sàn）。需要注意的是這個標（biāo）準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係（xì）.因此91小视频可以認為MPPS的粒徑大（dà）小在測（cè）試的時候不是針對某一個粒徑的而是針（zhēn）對一個區間的。這（zhè）個（gè）也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總（zǒng）和;同時也（yě）要說明的是不同的過濾風速（sù）下（xià）MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少（shǎo）.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍（wéi）之內的所有粒子總數。這（zhè）裏所隱（yǐn）含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範（fàn）圍之內,而且粒徑的中（zhōng）值CMD應（yīng）該正好等於（yú）MPPS[理想化],EN1822規（guī）定偏差不能超（chāo）過10%;

2.氣溶膠（jiāo）發生器

氣（qì）溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵（chén）和冷發塵,異凝結發（fā）塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助（zhù）下可以（yǐ）保證有單分散相（xiàng）粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散（sàn）冷發（fā）塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發（fā）生器 單（dān）分（fèn）散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散（sàn）相異（yì）凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多（duō）分散電（diàn）移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以（yǐ）看出他們使（shǐ）用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐（ōu）盟采用後麵四種（zhǒng）進行測（cè）試，更加合理優越。不過（guò）問（wèn）題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個（gè）範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間（jiān）的粒子數量全部加起來（lái）作為MPPS的數量考慮應（yīng）該是符（fú）合MPPS/1.5—MPPS*1.5這（zhè）個範（fàn）圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在（zài）測試效率的時候是（shì）不計量（liàng）粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是（shì）單分散相也（yě）不是真正的單分散（sàn）相還是有各（gè）種粒徑分布的。隻要標準（zhǔn）差小於1.5就可以（yǐ）這（zhè）麽認為（wéi）了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時（shí）測粒子（zǐ）粒徑分布和數量。需要（yào）注意的是在上下遊（yóu）收（shōu）集的時候（hòu）,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明（míng）:現（xiàn）在（zài）EN已經發現MPPS粒（lì）子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大（dà）值與最小（xiǎo）值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最（zuì）好取MPPS/2-MPPS*2的（de）全部範（fàn）圍或者（zhě）部分。這是因為實際（jì）的光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知（zhī）道的一般是測量（liàng）分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等（děng）等。所以實際（jì）的結果是大（dà）部分廠家或者測試方最終的計數（shù）結果0.1um-0.2um之（zhī）間的總數（shù）作為計量基礎。

根據（jù）EN1822要求,最好的測量範圍在（zài）mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是（shì）規範（fàn）也可（kě）以（yǐ）要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者（zhě）在mpps*1.5-mpps*2的（de）分段上任選一組作為（wéi）劑量範圍.因此實（shí）際（jì）的測試可（kě）以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實（shí）際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根（gēn）據實際的粒子分析儀來。實際的（de）工程（chéng）結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候（hòu）的（de）分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法（fǎ）測試H13和H14上麵特別是在現場（chǎng）的時候；

另外一種是（shì）用粒子計數器或者粒徑分析計數器（qì）,它既可以測（cè）粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的（de）粒徑也能分析的一清二楚（chǔ）. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間（jiān）的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的（de）最低MPPS的點是曲線找（zhǎo）出（chū）來（lái）的,而不是實際測出來（lái）的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低（dī）點MPPS。這種方法隻能（néng）用單分散（sàn）相的粒（lì）子發生器來測試。因此其實找（zhǎo）到的不是單一粒徑（jìng）,而是一個區間;

並（bìng）且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子（zǐ）分析隻能（néng）測試出某一段粒徑之間而絕不是細到（dào）每一粒徑（jìng）的;

4. IEST的測試方法

對於H13和（hé）H14,IEST要求對於其測試質量濃度（dù）就可以了,而對（duì）於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且（qiě）直接讀（dú）取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中（zhōng）的更（gèng）加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值（zhí）。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導（dǎo）致的結果就（jiù）是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了（le）。因此（cǐ）要求現場的（de）測試質量濃度（dù）比為99.99%@H13H14是合（hé）理的（de）.因為這裏的結果已經（jīng）比0.3um為99.99%在實驗室要（yào）求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試（shì）MPPS了,對於測試方法（fǎ）上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一（yī）段區間粒徑的數量;

6:對測試結（jié）果的（de）分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆（sōng）分布的95%置信區（qū）間的（de）結果。

參考資（zī）料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差