鶴壁hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了（le）解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔（jié）淨室要（yào）安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些（xiē）特性還是不太了解的！

比如效率為（wéi）針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹（shào）的H14或者U15過濾器的測試粒（lì）子的尺寸是什麽？

下麵的（de）內容（róng）則是我自己以前（qián）整理的一些筆記，針對高效過濾器的一（yī）些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字（zì）就可以了！！！！

1.從HEPA高效過（guò）濾器效率（lǜ）說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐（ōu）洲持續優化自身規範和標準

目前國（guó）家上通行的是（shì）IEST-RP/EN1882/ ISO14644三（sān）大標準。中國（guó）國內大部分項目緊跟（gēn）的是EN1822標準（zhǔn）。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒（lì）的整體效率不低（dī）於99.97%為高效;EN1882規定隻要在（zài）MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中（zhōng）可以（yǐ）看到如下信息:EN1882對於局部（bù）穿透（tòu）率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的（de）兩張表格,分析（xī）如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑（jìng）,也就是所有的氣溶膠（jiāo）粒徑分布當中50%的質量大於（yú）這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求（qiú）的是質（zhì）量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣（qì）溶膠是單分散相或者多（duō）分（fèn）散相的（de）,是一個範（fàn）圍內的氣溶（róng）膠群體,而（ér）絕（jué）不是單一粒徑的0.3um的氣（qì）溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這（zhè）個值（zhí）.50%的粒（lì）子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們（men）其實它們（men）的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的（de）數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在（zài）IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等（děng）同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏（lǐ）也僅僅是（shì）類似（sì），不能完（wán）全等同。

3).新版的EN1822-2009把以（yǐ）前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前（qián）的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多（duō）少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室（shì）測（cè）試的。需要至（zhì）少做5次重複（fù）試驗。每次試驗均（jun1）要發單（dān）[準]分散相或者多分散相的粒子（zǐ）,布滿（mǎn）整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透（tòu）的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度（dù）而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴（zuǐ）噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一（yī）粒（lì）徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意（yì）的是這（zhè）個標準差和粒徑大小沒（méi）有直接關係，也就（jiù）是計算結果和粒徑沒有關（guān）係.因此91小视频可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑的而是（shì）針（zhēn）對一個區間的。這個（gè）也就（jiù）是為什（shí）麽MPPS在實際現場測（cè）試的時候要求測試一個區間範（fàn）圍內（nèi）的所有粒子數量總和;同時也要說明的是不同（tóng）的（de）過濾風速下MPPS是（shì）不同（tóng）的。出廠前需（xū）要明確額定濾速是多（duō）少.

5).對（duì）於實際的MPPS測（cè）試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範（fàn）圍之內（nèi）的所（suǒ）有粒子總數。這裏所隱含的條件（jiàn）是氣（qì）溶（róng）膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而（ér）且粒徑的（de）中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣（qì）溶膠發生器

氣溶膠發生器可（kě）以分為若幹種,如熱（rè）發塵和冷（lěng）發塵,異凝結發塵和（hé）同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分（fèn）散相粒徑發出。

壓縮空（kōng）氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生（shēng）器 單分散相（xiàng）異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發（fā）生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝（níng）結式氣（qì）溶膠發生（shēng）器 準單分散相自凝（níng）結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分（fèn）散電移過濾（lǜ）為單分散（sàn）相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種（zhǒng）,用光度儀測（cè）試質量濃度比;而歐盟采（cǎi）用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能（néng）直接測量一個粒徑值。其實是一（yī）個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效（xiào）率的時候是（shì）不計（jì）量粒子分徑的。直接把所有的（de）粒子（zǐ）數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意（yì）的是單分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒（lì）徑分布（bù）的。隻要（yào）標準差小於1.5就可以（yǐ）這麽認為了。

對（duì）於多分散相就不是這麽回事了。因為標準（zhǔn）差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子（zǐ）粒徑分布和數量。需要注意的（de）是在上下（xià）遊收集的時候,在（zài）MPPS已經知道的情況下,隻需要測量（liàng）MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全（quán）部或（huò）者部（bù）分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子（zǐ）一般坐（zuò）落於0.1um-0.25um之間。這個（gè）範圍的最大值（zhí）與最小（xiǎo）值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下（xià）,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學（xué）粒（lì）子計數器有一個測量精度問（wèn）題。大家知道的一般是測（cè）量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的（de）結果是大部分廠家或者測試（shì）方最終的計數結果0.1um-0.2um之間（jiān）的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量（liàng）範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規（guī）範也可（kě）以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑（jì）量（liàng）範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三（sān）種情況下進行計（jì）量。

考慮（lǜ）到（dào）實際的光學粒（lì）子分析儀,應該可以在其中三個分（fèn）段（duàn）裏麵任（rèn）選一個（gè）並且選擇全部的粒（lì）子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇（zé）0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因（yīn）此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇（zé）部（bù）分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標（biāo）準。

以上是對多分（fèn）散粒子測試時（shí）候的分析與說明。

3:接收方法

一般（bān）有兩（liǎng）種方法。

一種是用於測定質量濃度的光度（dù）計,它不能計數。因此可以（yǐ）用在DOP方法測試（shì）H13和H14上（shàng）麵（miàn）特別是在現場的時候；

另外一種是（shì）用（yòng）粒子計數器或者粒徑分（fèn）析計數器,它既可以（yǐ）測粒徑也可以測數量。不過需要說（shuō）明（míng）的是不能認為它（tā）什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而（ér）不是大家想象（xiàng）的什麽（me）0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能（néng）分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了（le）。

這（zhè）是因為EN1822-3對於濾（lǜ）料測試的最低MPPS的點是曲（qǔ）線找（zhǎo）出來的,而不是實際測（cè）出來的。規定要求測至少六種不同的（de）粒徑,通過畫曲線的方法找到最（zuì）低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器（qì）來測試。因此其實（shí）找到的不是單一粒徑,而是一（yī）個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經（jīng）要求了（le）MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所（suǒ）以（yǐ）這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之（zhī）間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要（yào）求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用（yòng）粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或（huò）者0.2um-0.3um兩組中（zhōng）的更加不利的那一個數據.但是並不需要（yào）先檢測出MPPS值。

對於現（xiàn）場中的DOP檢測（cè）,很多（duō）公司（sī）使用TFI的（de）冷發塵,由於其（qí）屬於多分（fèn）散相，因此（cǐ）其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在（zài）0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試（shì）質（zhì）量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部（bù）分的項目而言,還是（shì）使用H14以上（shàng）的高（gāo）效比（bǐ）較保險。

5. EN1822測（cè）試方法

對（duì）於H10以上的就需要測試MPPS了,對（duì）於測試方法上麵已經有說（shuō）明,總體而言就（jiù）是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現（xiàn）場測試的隻能是樣本（běn）,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結（jié）果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了（le）統（tǒng）計學相關（guān）知識,包（bāo）括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差（chà）