杭州hepa高效過濾（lǜ）器

其實很多人對於高效過濾器（qì）的了解還是停留在表麵上（shàng）的，

比（bǐ）如隻（zhī）知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高（gāo）效過濾器的一些特（tè）性還是不太了解的（de）！

比如效率為（wéi）針對0.3um的（de）粒子其濃度（dù）不低於（yú）99.97%為美國的A級別高效過濾器,這（zhè）句話（huà）的詳細意思其實（shí）並沒有多（duō）少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者（zhě）U15過濾器的測試粒子的（de）尺寸（cùn）是什（shí）麽（me）？

下麵的（de）內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細（xì）介紹。

不太懂（dǒng）的就看黑體字就可（kě）以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率（lǜ）說（shuō）起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器（qì）

最（zuì）早的HEPA 的使用來源於美國（guó）軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自（zì）身規範和標準

目前國（guó）家上通（tōng）行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率（lǜ）不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣（qì）溶膠下通過（guò）率大於99.95%的就可以,也（yě）就是H13以上;
EN1822
從圖（tú）中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考（kǎo）慮之下;
IEST描述
針對以上（shàng）的兩張（zhāng）表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒（lì）子質量中徑,也就是所有（yǒu）的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不（bú）要認為IEST的（de）規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的（de）是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單（dān）分散相或者多分散相的,是一個範圍（wéi）內的（de）氣溶膠群體（tǐ）,而絕不（bú）是單一（yī）粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值（zhí）.50%的粒子小於（yú）這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這（zhè）是因為大顆粒的粒子占有的數量（liàng）權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同（tóng）於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏（lǐ）也（yě）僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前（qián）的E10 E11 E12均作為HEPA的分類（lèi）劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃（lí）纖（xiān）維做（zuò）實驗（yàn）室測試的。需（xū）要至少做5次（cì）重（chóng）複試驗。每次試驗均要發單[準]分（fèn）散相或者多分散相的粒子,布滿整體（tǐ）的0.1-0.5um的區（qū）間。最後用曲線做出來最低點（diǎn）。根據現在EN1822的統計,絕（jué）大（dà）部分的最易穿透的粒子（zǐ）粒（lì）徑在0.1um-0.25um之（zhī）間的某（mǒu）一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒（lì）子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標（biāo）準（zhǔn）差和粒徑大小沒有（yǒu）直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此91小视频可以認（rèn）為MPPS的（de）粒徑大（dà）小在（zài）測（cè）試的（de）時候不是針對（duì）某一個粒徑的而（ér）是針對一個區（qū）間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測（cè）試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總（zǒng）和;同時（shí）也要說明的（de）是不同的過濾風速（sù）下MPPS是不同的。出廠前（qián）需要明確（què）額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測（cè）試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範（fàn）圍（wéi）之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落（luò）在這個（gè）範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生（shēng）器可以分為若幹（gàn）種,如熱發塵和冷（lěng）發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以（yǐ）保證有（yǒu）單分散相粒徑發出。

壓縮空氣（qì）多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相（xiàng）異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分（fèn）散相異凝結 1.05

自由噴射凝結（jié）式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分（fèn）散電移過濾（lǜ）為（wéi）單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看（kàn）出他們使用的是（shì）第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐（ōu）盟采用後麵（miàn）四（sì）種進行測試，更加（jiā）合理優越。不過問題在於MPPS不可（kě）能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是（shì）符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說（shuō）法,如果是采用（yòng）單分散相粒子在測試效率的（de）時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子（zǐ）數量加在一起就可以作（zuò）為上下（xià）遊分（fèn）別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單（dān）分（fèn）散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可（kě）以這麽認（rèn）為了。

對（duì）於多分散相就不是這麽回事了（le）。因為標準差大（dà）於1.5，因此（cǐ）在進行測試的時候要（yào）求同時測粒子粒徑分布和數量（liàng）。需要（yào）注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已（yǐ）經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數（shù）量即可。

舉例來說明:現（xiàn）在EN已經發現MPPS粒子一般（bān）坐落於0.1um-0.25um之間（jiān）。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求（qiú）下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分（fèn）。這是因為實際的光（guāng）學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知道（dào）的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的（de）計（jì）數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求（qiú）,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也（yě）可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此（cǐ）實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情（qíng）況下（xià）進行計（jì）量。

考慮到實際的光學粒（lì）子分（fèn）析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一（yī）個並且選擇全部的粒子或者部分的粒（lì）子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種（zhǒng）分段發可（kě）以在0.09um-0.27um之間選擇部分（fèn）也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量（liàng）標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有（yǒu）兩種（zhǒng）方法（fǎ）。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以（yǐ）用在（zài）DOP方法測試H13和H14上麵特別（bié）是在現場的時候（hòu）；

另外一種是用（yòng）粒子計數器或者粒徑分析計（jì）數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的（de）是不能認為它什（shí）麽粒徑都能測（cè）,它一（yī）般隻能分段測粒（lì）徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不（bú）是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚（chǔ）. 因此實際的接（jiē）收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試（shì）的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是（shì）實際測出來的。規（guī）定要求（qiú）測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找（zhǎo）到（dào）最低點MPPS。這種方法隻能用（yòng）單分（fèn）散相（xiàng）的粒子發生器（qì）來測試。因此其實找到的不是單一（yī）粒徑,而是一個區間;

並（bìng）且在（zài）EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說（shuō）明了是粒子分析隻（zhī）能測試出某一段粒徑之間（jiān）而絕不（bú）是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其（qí）測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子（zǐ）計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更（gèng）加不利的那一個數據.但是並（bìng）不（bú）需要先檢測出（chū）MPPS值。

對於（yú）現場中的（de）DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求（qiú）了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為（wéi）99.99%在（zài）實驗室要求低了。

對於大（dà）部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對（duì）於H10以上的就（jiù）需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有（yǒu）說明,總體（tǐ）而言（yán）就（jiù）是測包含MPPS的一段區（qū）間粒徑的數量;

6:對測試（shì）結果（guǒ）的分析

由於現場測試的隻能是樣本（běn）,而且不可能全部都測.因此實（shí）際的結果分析（xī）采用了泊鬆分布的95%置信區間（jiān）的結果。

參考（kǎo）資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且（qiě）在（zài）資料當（dāng）中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間（jiān）/標準差（chà）/幾何標準差