廣州hepa高效過（guò）濾器（qì）

其實很多人（rén）對於高效過濾器的了解還是（shì）停留在表麵上（shàng）的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效（xiào）G4+中效F5+中高效F9+末端（duān）的（de）高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還（hái）是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的（de）粒子其濃度不低（dī）於99.97%為美國（guó）的A級別高效過濾器,這句（jù）話的詳（xiáng）細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵（miàn）的內容則是我自己以前整理的一（yī）些筆記，針對高效過濾器的一些詳細（xì）介紹。

不太懂的就看（kàn）黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為（wéi）MIT相關（guān）標準。其後歐洲持續優化自身（shēn）規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中（zhōng）國國內大部分項目緊（jǐn）跟（gēn）的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒（lì）的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到（dào）如下信息:EN1882對於局部穿透率可（kě）以（yǐ）是整體的5倍這當然（rán）是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上（shàng）的兩張表格,分析如下（xià）:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的（de）是粒子質（zhì）量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分（fèn）布當中50%的質量大於這（zhè）個（gè）值,50%的質量小於這（zhè）個值.

因此不要（yào）認為（wéi）IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針（zhēn）對（duì）0.3um的要求.其實這個規定要求的是（shì）質（zhì）量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是（shì）氣溶膠是單分散相或者多分散相的（de）,是一個範圍內的氣溶膠（jiāo）群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒（lì）子尺（chǐ）寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權（quán）重很大。因（yīn）此在IEST上麵（miàn）說99.97%@0.3um其實（shí）大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑（jìng）.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新（xīn）版的EN1822-2009把（bǎ）以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係（xì）列,不同於以前（qián）的EN1822-2000;

4).MPPS到（dào）底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃（lí）纖維做實驗室（shì）測試的。需要至少做5次重（chóng）複試驗。每次試（shì）驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布（bù）滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一（yī）個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶（róng）膠粒徑（jìng）不可能保證為（wéi）唯一（yī）粒徑粒子,從標準（zhǔn）差而言.σ1.5為（wéi）多分（fèn）散。需要注意的是這個標準差和（hé）粒徑大（dà）小沒有直接關係，也就是計算（suàn）結果和粒徑沒有關係.因（yīn）此91小视频可（kě）以認為MPPS的粒徑大小（xiǎo）在測試的時候不是針對某一個（gè）粒徑的而是針對一個區間的。這個也就（jiù）是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時（shí）也要說（shuō）明的是不（bú）同（tóng）的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確（què）額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒（lì）子總數（shù）。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個（gè）範圍之（zhī）內,而且粒（lì）徑（jìng）的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能（néng）超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以（yǐ）保證（zhèng）有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發（fā）塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分（fèn）散冷發（fā）塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生（shēng）器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單（dān）分散相異（yì）凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶（róng）膠發生器 準單分散（sàn）相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵（chén）+DPMS 多分散（sàn）電（diàn）移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國（guó）的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度（dù）比;而歐盟采（cǎi）用後麵四（sì）種進行測試，更加合理優越（yuè）。不過問題在於MPPS不可能（néng）直接測量一個粒（lì）徑值。其實是一個範圍。很多（duō）工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個（gè）範圍的。

根據EN1822-5的說法（fǎ）,如果是采用單分散（sàn）相粒子在（zài）測試效率（lǜ）的時候（hòu）是不計（jì）量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一（yī）起就（jiù）可（kě）以作為上下遊（yóu）分別的粒子計（jì）數了。但（dàn）是這裏要注意的是單分散相（xiàng）也不是真正的單（dān）分散相（xiàng）還是（shì）有各種粒徑分布的。隻要標（biāo）準差小於1.5就可以這（zhè）麽（me）認為了。

對於多分散相就（jiù）不是這麽回事（shì）了。因為標準差大於1.5，因此（cǐ）在進行測試的時候要（yào）求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下（xià）遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子（zǐ）數量即可。

舉例（lì）來說明:現在EN已經發現（xiàn）MPPS粒子一（yī）般坐落於0.1um-0.25um之間（jiān）。這個範（fàn）圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光（guāng）學粒子計數器有一個測量精（jīng）度問題。大家知道的一般是測量分（fèn）段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結（jié）果是大部（bù）分廠（chǎng）家或（huò）者測試方最終的計數（shù）結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可（kě）以要求在（zài）mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實（shí）際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情（qíng）況下進（jìn）行計量。

考（kǎo）慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其（qí）中三個分段裏麵（miàn）任選一個（gè）並且（qiě）選（xuǎn）擇（zé）全（quán）部的粒子或者部分的（de）粒子。到底怎麽選根據實際的粒（lì）子分析儀來。實際（jì）的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之（zhī）間的值作為劑量標準。

以上是對（duì）多分散粒子測試時候的分析與（yǔ）說明。

3:接（jiē）收方法

一般有兩種方法。

一種是用於（yú）測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在（zài）DOP方法測試H13和H14上麵（miàn）特別是在現場（chǎng）的時候（hòu）；

另外一種是用粒子（zǐ）計數器或者粒徑分析計數器（qì）,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能（néng）認（rèn）為它什麽粒徑都能測（cè）,它一般隻能（néng）分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也（yě）能分析的（de）一清二楚. 因此實（shí）際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上（shàng）麵（miàn）已經說（shuō）過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實（shí）際（jì）測（cè）出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測（cè）試（shì）。因此其實找到的（de）不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間（jiān）的粒徑（jìng）,所以這更加說明了是（shì）粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度（dù）就（jiù）可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒（lì）子計數器,並且（qiě）直接讀取0.1um-0.2um或（huò）者（zhě）0.2um-0.3um兩組（zǔ）中的（de）更加不利的那一個數據.但是並不（bú）需要先（xiān）檢測出MPPS值。

對於（yú）現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷（lěng）發（fā）塵,由於其屬於（yú）多分散相（xiàng），因此其實（shí）導致的結果就（jiù）是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的（de）測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理（lǐ）的（de）.因為這裏的（de）結（jié）果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項（xiàng）目而言,還是（shì）使（shǐ）用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方（fāng）法

對於H10以上（shàng）的就需要測試MPPS了,對於測試（shì）方法上麵已經有說明,總體而言就（jiù）是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是（shì）樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結（jié）果。

參考（kǎo）資料（liào）

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在（zài）資料當中（zhōng）提到了統計學相（xiàng）關知識（shí）,包括泊鬆（sōng）分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差（chà）