鄂州hepa高效過濾器

其（qí）實很多人對於（yú）高效過（guò）濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高（gāo）效F9+末端的高效H14，但（dàn）是對於高效過濾（lǜ）器的一些特（tè）性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如（rú）MPPS方法介紹（shào）的H14或者U15過濾（lǜ）器的測試粒子的尺寸是什麽？

下（xià）麵的內容則（zé）是我自（zì）己以前整理的一些筆記，針對高效過（guò）濾器的一些（xiē）詳細介紹。

不太（tài）懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效（xiào）過（guò）濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標（biāo）準。其後歐洲（zhōu）持續（xù）優化自身規範和標準

目（mù）前（qián）國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項（xiàng）目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規（guī）定隻（zhī）要（yào）在MPPS的氣溶（róng）膠下通過率大（dà）於（yú）99.95%的就可以（yǐ）,也就（jiù）是H13以上;
EN1822
從圖（tú）中（zhōng）可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述（shù）
針對以（yǐ）上的兩（liǎng）張表格,分析（xī）如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有（yǒu）的氣溶（róng）膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這（zhè）個值.

因此不（bú）要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的（de）氣（qì）溶膠群（qún）,也就是氣溶膠是單分散相或者（zhě）多分散（sàn）相的,是一個範圍內的氣（qì）溶膠群體（tǐ）,而絕不是（shì）單（dān）一粒徑的0.3um的（de）氣（qì）溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺（chǐ）寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個（gè）值.50%的（de）粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實（shí）它們（men）的CMD大約在0.2um.這（zhè）是（shì）因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權（quán）重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實（shí）大（dà）致等同於EN1882的MPPS的顆粒直（zhí）徑.這（zhè）裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把（bǎ）以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某（mǒu）一種玻（bō）璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每（měi）次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相（xiàng）的（de）粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線（xiàn）做出來最低點。根據現（xiàn）在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒（lì）徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶（róng）膠發（fā）生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一（yī）粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是（shì）這個（gè）標準（zhǔn）差和粒徑大小沒（méi）有直接關係（xì），也就是（shì）計算結果和粒徑沒有關係.因此91小视频可以認為MPPS的粒（lì）徑大小在測試的時候不是針對某一（yī）個粒（lì）徑的而是針對一個區間的。這個也就是為什麽（me）MPPS在實際現場測試的時（shí）候要求測（cè）試一（yī）個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時（shí）也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速（sù）是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集（jí）MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的（de）所有粒子總數。這裏（lǐ）所（suǒ）隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個（gè）範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理（lǐ）想化],EN1822規定偏差不能超過（guò）10%;

2.氣溶膠（jiāo）發生器（qì）

氣溶膠發生器（qì）可以（yǐ）分為若幹種,如（rú）熱發塵（chén）和冷發塵,異（yì）凝結（jié）發（fā）塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以（yǐ）保（bǎo）證有單分散相粒徑（jìng）發出。

壓縮（suō）空氣多分散熱發（fā）塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶（róng）膠發生器 單（dān）分散相異凝（níng）結（jié） 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散（sàn）相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美（měi）國的IEST可以看出他們使用的（de）是第一種和第二種,用光（guāng）度儀測試（shì）質量（liàng）濃度比;而歐盟采用後麵四（sì）種進行測試，更加合理（lǐ）優（yōu）越。不過問題（tí）在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是（shì）一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全（quán）部加起來作為（wéi）MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起（qǐ）就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這（zhè）裏要注意的是（shì）單分散相也（yě）不（bú）是真正的單分散相（xiàng）還是有各種粒徑分布的（de）。隻要標準（zhǔn）差小於1.5就可（kě）以這（zhè）麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事（shì）了。因為標（biāo）準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒（lì）徑分布和數量。需（xū）要注（zhù）意的是（shì）在上下遊收集的時候,在MPPS已經知（zhī）道的情況下,隻需要（yào）測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可（kě）。

舉例來（lái）說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般（bān）坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最（zuì）大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要（yào）求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全（quán）部範圍或者部分。這是因為實（shí）際的（de）光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段（duàn）為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的（de）結果（guǒ）是大部分廠家或者測試方最終的計數結果（guǒ）0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的（de）測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測（cè）試（shì）可以（yǐ）在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這（zhè）三種情（qíng）況下進（jìn）行計量。

考慮（lǜ）到實際的光學粒子分（fèn）析（xī）儀,應（yīng）該可以在其中（zhōng）三個分段（duàn）裏麵任選（xuǎn）一個並且（qiě）選擇全部的粒子或者部（bù）分的粒子。到底（dǐ）怎麽選根據實際的粒（lì）子分析儀來。實際（jì）的工程結果是選擇（zé）0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子（zǐ）,因此采用第二種分段發（fā）可以在0.09um-0.27um之間（jiān）選擇部（bù）分也就是0.1um-0.2um之間的（de）值作為劑量標準。

以上是（shì）對多分（fèn）散（sàn）粒子測試時候的分析與說明。

3:接收（shōu）方法

一般有兩（liǎng）種方法。

一種（zhǒng）是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場（chǎng）的時候；

另外一種（zhǒng）是用粒子計數器或者粒徑分析（xī）計數（shù）器,它（tā）既可以測粒徑也可以測數（shù）量。不過（guò）需要說（shuō）明的（de）是不能認為它什麽粒徑都（dōu）能測,它一般隻能分段測粒徑。比如（rú）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而（ér）不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的（de）粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接（jiē）收粒子MPPS是在一段粒（lì）徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測（cè）試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是（shì）實際測（cè）出來的。規（guī）定要求測至少六種不（bú）同（tóng）的粒徑,通（tōng）過畫曲線的方法找到最低點（diǎn）MPPS。這種（zhǒng）方法隻能（néng）用單分散相的粒子發生器來測（cè）試。因此其（qí）實找到的不是單一粒徑,而是一個區（qū）間;

並（bìng）且（qiě）在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了（le）MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑（jìng）的;

4. IEST的測試（shì）方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試（shì）質量濃度就可以了,而對於高要求（qiú）的U15以（yǐ）上要求用粒子計數器（qì）,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的（de）更加不利的那（nà）一個（gè）數據.但是（shì）並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中（zhōng）的DOP檢測,很多公（gōng）司使用TFI的冷發塵,由於其屬（shǔ）於多分散相，因此其實導致的結果就（jiù）是CMD在0.4um,MMD在（zài）0.7um,已（yǐ）經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因（yīn）為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大（dà）部分的項目而言,還是（shì）使用H14以上的高（gāo）效比較保（bǎo）險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對（duì）於測試方法上麵已經有說明,總體（tǐ）而言就是（shì）測包（bāo）含MPPS的一段區間粒徑（jìng）的（de）數量;

6:對測（cè）試結果的分析（xī）

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全（quán）部都測.因此實際的結果分（fèn）析采用了泊鬆分（fèn）布的95%置信區間（jiān）的結（jié）果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且（qiě）在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊（bó）鬆（sōng）分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差