德陽hepa高效過濾器

其實很多人對（duì）於高（gāo）效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道（dào）潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末（mò）端（duān）的高效H14，但是對於高效過濾（lǜ）器的一些特性（xìng）還是不太了解的！

比如（rú）效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級（jí）別高效過濾器（qì）,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的（de）H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前（qián）整理的一些筆記，針對（duì）高效過濾（lǜ）器的一些詳（xiáng）細介紹（shào）。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的（de）HEPA 的使用來源於美（měi）國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規（guī）範和標準

目前國家上（shàng）通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中（zhōng）國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息（xī）:EN1882對於局（jú）部穿透率可（kě）以（yǐ）是整體的5倍（bèi）這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子（zǐ）質量中（zhōng）徑,也就是所有的氣溶膠粒（lì）徑（jìng）分布當中50%的質量大（dà）於這個值,50%的質量小於這個（gè）值.

因此不要認為IEST的規定（dìng）@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這（zhè）個規定要求的是質量中（zhōng）徑在（zài）0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範（fàn）圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的（de）0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個（gè）值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的（de）顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因（yīn）為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在（zài）IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑（jìng）.這裏也僅僅是類似，不能完全等（děng）同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入（rù）高效係列,不同（tóng）於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做（zuò）實驗室（shì）測試的。需要至少做5次重複試（shì）驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒（lì）子,布滿整體的0.1-0.5um的區（qū）間。最後用曲線做出來最低點。根據現（xiàn）在EN1822的統計,絕大部分的最易穿（chuān）透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的（de）某一個（gè）值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或（huò）者LASKIN噴嘴噴出的氣溶（róng）膠粒徑（jìng）不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差（chà）而言（yán）.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此91小视频可（kě）以認為MPPS的粒徑大（dà）小在測試的時候不是（shì）針對某一（yī）個（gè）粒徑的而是針對一（yī）個區間的（de）。這個也就是為什（shí）麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說明的（de）是不同的過濾風（fēng）速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多（duō）少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍（wéi）之內的所有（yǒu）粒子總數。這裏所隱含的條件（jiàn）是氣溶膠的發塵應（yīng）該正好落在這個（gè）範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規（guī）定偏差不能（néng）超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如（rú）熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的（de）幫（bāng）助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮（suō）空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣（qì）溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異（yì）凝結（jié） 1.05

自（zì）由（yóu）噴射凝（níng）結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠（jiāo）發塵+DPMS 多分散電移過濾為（wéi）單分散相 σ=1.1不穩（wěn）定

從美國的IEST可以看（kàn）出他們（men）使用（yòng）的是第一種和第二種,用光（guāng）度儀測試質（zhì）量濃度（dù）比;而歐盟采用後麵四種進（jìn）行測試，更加合理優越。不過問題在（zài）於MPPS不可能直接測量一個（gè）粒徑值。其實是一個範圍。很（hěn）多工廠直接把0.1-0.2um之間（jiān）的（de）粒子數量全部加起來作為MPPS的數（shù）量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子（zǐ）在測試效率的時候是不計量粒子分（fèn）徑的。直接把所有（yǒu）的粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的（de）粒子計數了。但是這裏（lǐ）要注意的（de）是單分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相（xiàng）就不是這麽回（huí）事了。因為（wéi）標準差大於1.5，因（yīn）此在進行測試的時候要求（qiú）同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是（shì）在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況（kuàng）下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段（duàn）裏麵的全（quán）部或者部分粒子數（shù）量即可。

舉（jǔ）例來（lái）說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最（zuì）大值與（yǔ）最小值（zhí）之比為2.5.因此（cǐ）在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實（shí）際的光學粒子計數器有一（yī）個測量精度問題。大家知道的一般是（shì）測量分段（duàn）為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以（yǐ）實際的結果是大部（bù）分廠家（jiā）或者測試方最（zuì）終的計數結果0.1um-0.2um之間（jiān）的總數（shù）作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分（fèn）段上（shàng）任選一組作為劑量範圍.因（yīn）此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮（lǜ）到實際的光學粒子分析儀,應該可以（yǐ）在其中（zhōng）三個分段裏麵任選一個並且選擇全部（bù）的粒子或者部分的粒子。到（dào）底怎麽選根據實際的粒子分析儀來（lái）。實（shí）際的工程結果是選擇（zé）0.1-0.2um之間的（de）。因為大部分MPPS在0.18um的樣子（zǐ）,因此采用第二（èr）種分（fèn）段發可以在（zài）0.09um-0.27um之間選（xuǎn）擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標（biāo）準。

以上是對多分散粒子測（cè）試時候的（de）分析（xī）與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質（zhì）量濃度的光（guāng）度（dù）計,它不能（néng）計數。因此可以用（yòng）在DOP方法測試（shì）H13和H14上麵特別是在現（xiàn）場的（de）時候；

另（lìng）外一種（zhǒng）是（shì）用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測（cè）數量。不過需要說明的是不能認（rèn）為它什（shí）麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什（shí）麽0.111um,0.157um,0.18um這樣（yàng）的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試（shì）的最低MPPS的點是曲線找出來的,而（ér）不是實際測出來的。規定要求測（cè）至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實（shí）找到的不是單一粒徑,而是一個區間（jiān）;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試（shì）出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒（lì）徑的;

4. IEST的測（cè）試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並（bìng）且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中（zhōng）的更加不利的那一個數（shù）據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對（duì）於現場（chǎng）中的DOP檢測,很多公司使用（yòng）TFI的冷發塵,由（yóu）於其屬（shǔ）於多分散相（xiàng），因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在（zài）0.7um,已（yǐ）經大於0.3um的（de）要（yào）求（qiú）了。因（yīn）此（cǐ）要求現場（chǎng）的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的（de）.因為這裏的結果已經比0.3um為（wéi）99.99%在實驗室（shì）要求低了。

對於（yú）大部分（fèn）的項目而言,還是使用H14以上的（de）高效比較保險。

5. EN1822測試（shì）方法（fǎ）

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法（fǎ）上麵已經有說明,總體而言就是測包含（hán）MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試（shì）結果的分析

由於現場（chǎng）測試的隻能是（shì）樣本,而（ér）且不可能全部都（dōu）測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區（qū）間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計（jì）學相關知識,包括泊鬆分布/95%置（zhì）信區間/標準差/幾何標準差