潮州hepa高效過濾器

其實很多人對於（yú）高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些（xiē）特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的（de）粒子其濃度不低（dī）於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句（jù）話的詳細意思其實並沒有多少人（rén）思考！

比如MPPS方法介紹的（de）H14或（huò）者U15過濾器（qì）的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆記（jì），針（zhēn）對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過（guò）濾（lǜ）器

最早的（de）HEPA 的（de）使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規（guī）定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣（qì）溶膠下通（tōng）過（guò）率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到（dào）如下信息:EN1882對於局部穿（chuān）透率可以是整（zhěng）體（tǐ）的5倍這當然是（shì）在MPPS 的粒徑考（kǎo）慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如（rú）下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當（dāng）中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要（yào）認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者（zhě）@0.3um>=99.99%僅僅是（shì）針對0.3um的要求.其實這個規定要求（qiú）的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是（shì）單分散（sàn）相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的（de）0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒（lì）子（zǐ）小於這個值。MMD=0.3um的（de）顆粒們其實它們的CMD大約（yuē）在0.2um.這是因為大顆粒的粒子（zǐ）占有的數量權重雖然小,但（dàn）是質（zhì）量權重很大。因此（cǐ）在IEST上麵說99.97%@0.3um其實（shí）大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑（jìng）.這裏也僅僅是類似（sì），不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的（de）分類劃入高效係列,不（bú）同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種（zhǒng）濾料,比如某一種玻璃纖（xiān）維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分（fèn）散相或者多分散相的（de）粒子,布滿整（zhěng）體的0.1-0.5um的（de）區間。最後用曲線做出來最低點。根（gēn）據現在EN1822的統計,絕（jué）大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶（róng）膠發生器或者LASKIN噴（pēn）嘴噴出的（de）氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準（zhǔn）差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因（yīn）此91小视频可以認為MPPS的（de）粒徑大小在測試的時候不是（shì）針對某一個粒徑的而是針對一個（gè）區間的。這個（gè）也就是為什麽（me）MPPS在實際（jì）現場測試的時（shí）候要求測（cè）試一個區間範（fàn）圍內的所有粒子數量（liàng）總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際（jì）的MPPS測試（shì）,一般要求收集（jí）MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個（gè）範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏（piān）差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶（róng）膠發生器（qì）可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱（rè）發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單（dān）分（fèn）散相異凝結 1.05

自（zì）由噴射凝（níng）結式氣溶膠發生器 準單分散（sàn）相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的是第一種（zhǒng）和第二（èr）種,用光（guāng）度儀測試質量濃（nóng）度比;而歐盟采用後麵四（sì）種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接（jiē）測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠（chǎng）直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的（de）數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據（jù）EN1822-5的說法,如果是采用單（dān）分散相粒子（zǐ）在測（cè）試效率的時候是不計量（liàng）粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在（zài）一起就可以作為上下遊（yóu）分別的（de）粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相（xiàng）也不是真（zhēn）正的單分散相還是有各種粒徑分布的。隻（zhī）要標準差（chà）小於1.5就（jiù）可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大（dà）於1.5，因此（cǐ）在進（jìn）行測試的時候要求同（tóng）時（shí）測粒子粒徑分布和數（shù）量。需要注意的是在上下遊收集（jí）的時候,在MPPS已（yǐ）經（jīng）知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部（bù）或者（zhě）部分粒子（zǐ）數量即可。

舉（jǔ）例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一（yī）般坐落（luò）於0.1um-0.25um之間。這個範（fàn）圍的最（zuì）大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最（zuì）好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的（de）光學粒子計數器有一個測量精度（dù）問題。大家知道的一般（bān）是測量分段（duàn）為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所（suǒ）以實際的結果是大部分（fèn）廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為（wéi）計量基（jī）礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之（zhī）間。但是規範也（yě）可以要（yào）求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分（fèn）段上任選（xuǎn）一組作為劑（jì）量範圍.因此實際（jì）的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析（xī）儀,應該可（kě）以在其中三個分段裏（lǐ）麵（miàn）任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選（xuǎn）擇（zé）0.1-0.2um之（zhī）間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二（èr）種分段發可以在0.09um-0.27um之（zhī）間（jiān）選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對（duì）多分散（sàn）粒（lì）子（zǐ）測（cè）試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方（fāng）法。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在（zài）DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現（xiàn）場的時候；

另外一（yī）種是用粒子計數器（qì）或者粒徑分析計（jì）數器,它既可以測粒徑也可以測數量（liàng）。不過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般（bān）隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家（jiā）想象的（de）什麽（me）0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的（de）一（yī）清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的（de）最低MPPS的點是曲（qǔ）線找（zhǎo）出來的,而不（bú）是實際測出來的。規定要求（qiú）測至少六種不同的粒徑,通過畫（huà）曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子（zǐ）發生器來測試。因（yīn）此其實找（zhǎo）到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵（miàn）已經（jīng）要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間（jiān）的粒徑,所以這（zhè）更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一（yī）粒徑（jìng）的;

4. IEST的（de）測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以（yǐ）了,而對於高要求的（de）U15以上要求用粒子計數器（qì）,並且直接（jiē）讀取0.1um-0.2um或（huò）者（zhě）0.2um-0.3um兩組中的更加（jiā）不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很（hěn）多公司使用TFI的（de）冷發塵,由於其屬於多分散（sàn）相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求（qiú）了。因此要求（qiú）現場（chǎng）的測試質量濃（nóng）度比為99.99%@H13H14是合理的.因為（wéi）這裏（lǐ）的結果已經比0.3um為99.99%在實（shí）驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較（jiào）保險。

5. EN1822測試方（fāng）法

對於（yú）H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法（fǎ）上麵已經有說明（míng）,總體而言就是測包含MPPS的一段區（qū）間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析（xī）

由於現場（chǎng）測（cè）試的隻能是（shì）樣本,而且不可能全部（bù）都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考（kǎo）資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當（dāng）中（zhōng）提（tí）到了統計學相關知識,包括泊（bó）鬆分布/95%置信區間（jiān）/標（biāo）準差/幾何標準差