畢節hepa高效過濾器

其實很多人（rén）對於高效過濾器的了解還（hái）是停留在表麵上（shàng）的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效（xiào）H14，但是對於（yú）高效過濾器（qì）的一些特性還是不太了解的！

比如（rú）效率為針對0.3um的粒（lì）子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾（lǜ）器,這句話的（de）詳細意思其（qí）實並沒（méi）有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則（zé）是我自己以前整理的一些筆（bǐ）記，針對高效過濾（lǜ）器的一些詳細介紹（shào）。

不太懂的就看黑體字就可以（yǐ）了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起（qǐ）

HEPA—high efficiency particulate air為（wéi）高效過（guò）濾器

最（zuì）早（zǎo）的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準（zhǔn）。其後歐洲持續優化自身規範和（hé）標準

目前國家上通行（háng）的（de）是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內（nèi）大部分項目緊跟的是（shì）EN1822標（biāo）準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就（jiù）可以,也（yě）就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿（chuān）透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述（shù）
針（zhēn）對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的（de）是粒子質量中徑,也就是所有的（de）氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於（yú）這個值.

因此（cǐ）不要認（rèn）為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或（huò）者@0.3um>=99.99%僅（jǐn）僅是針對0.3um的要求.其實這個規定（dìng）要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分（fèn）散相或者多分散相的,是一個範圍內的（de）氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的（de）氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子（zǐ）小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是（shì）質量權重很大。因（yīn）此在IEST上麵說（shuō）99.97%@0.3um其實大致（zhì）等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅（jǐn）是類似，不能（néng）完全等同。

3).新版（bǎn）的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為（wéi）HEPA的分（fèn）類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到（dào）底是多少,是需（xū）要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做（zuò）實（shí）驗室測試的。需要至少做5次重複試（shì）驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散（sàn）相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區（qū）間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部（bù）分的（de）最（zuì）易穿（chuān）透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為（wéi）唯一粒徑粒子,從標準差而（ér）言.σ1.5為多分散。需要注意的是（shì）這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是（shì）計算結果和粒（lì）徑（jìng）沒（méi）有關係.因此91小视频可以認（rèn）為MPPS的（de）粒徑大小在測（cè）試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這個（gè）也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一（yī）個區間範圍內的所有粒子數（shù）量總和;同時也要說明的是（shì）不同的過濾風速下MPPS是不（bú）同的。出廠前需要明確（què）額定（dìng）濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一（yī）般要求收（shōu）集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒（lì）子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個（gè）範圍之內,而（ér）且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不（bú）能超過10%;

2.氣（qì）溶膠發生器

氣溶膠發生器（qì）可以分為若幹種,如熱發塵和（hé）冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保（bǎo）證有（yǒu）單分散相粒徑發（fā）出。

壓縮空（kōng）氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散（sàn）相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相（xiàng）異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散（sàn）電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美（měi）國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進（jìn）行測試，更加合理優越。不過問題在於（yú）MPPS不可能直接測量一個（gè）粒徑值。其（qí）實是一個（gè）範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加（jiā）起來作為（wéi）MPPS的數量考慮應該（gāi）是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的（de）。

根據EN1822-5的說法,如果是采（cǎi）用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可（kě）以作為上下遊分別的（de）粒子計（jì）數了（le）。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認（rèn）為了。

對於多分散（sàn）相就不是這（zhè）麽回事了。因（yīn）為標準差大於1.5，因（yīn）此在進行測試的時（shí）候要求同時測粒子粒徑（jìng）分布和（hé）數量（liàng）。需要（yào）注意的是在上下遊收（shōu）集的時候,在MPPS已（yǐ）經知道的情況下,隻需（xū）要測量MPPS/2-MPPS*2分段（duàn）裏（lǐ）麵（miàn）的全部或（huò）者部分粒子數量即可。

舉例來說（shuō）明（míng）:現在EN已經發現（xiàn）MPPS粒（lì）子一般坐落於0.1um-0.25um之間（jiān）。這個範圍的最大值與（yǔ）最小值之比為（wéi）2.5.因（yīn）此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因（yīn）為實際的光學（xué）粒子（zǐ）計數器有（yǒu）一個測（cè）量精（jīng）度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等（děng）等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計（jì）數結果0.1um-0.2um之間的（de）總數作為計量基礎。

根據（jù）EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範（fàn）也（yě）可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可（kě）以在（zài）

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這（zhè）三種情況下（xià）進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應（yīng）該（gāi）可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根（gēn）據實（shí）際的粒子（zǐ）分析（xī）儀來。實（shí）際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣（yàng）子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分（fèn）也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以（yǐ）上是對多分散粒子測試時（shí）候的分析與說明。

3:接收方法

一（yī）般有兩（liǎng）種方法。

一種是用於測定質（zhì）量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用（yòng）在DOP方法測（cè）試H13和H14上麵特（tè）別（bié）是在現場的時候；

另外一種是用粒子（zǐ）計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測（cè）粒徑也可以測數量。不過需要說（shuō）明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分（fèn）段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想（xiǎng）象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際（jì）的接收粒子MPPS是在一段粒徑之（zhī）間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來（lái）的（de）,而（ér）不是實際測出來的。規定要求測至（zhì）少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點（diǎn）MPPS。這種方法（fǎ）隻能（néng）用單分散相的粒（lì）子發生（shēng）器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且（qiě）在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析（xī）隻能測試出某一（yī）段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑（jìng）的;

4. IEST的測試方法

對於H13和（hé）H14,IEST要求對於其（qí）測試（shì）質量濃（nóng）度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子（zǐ）計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢（jiǎn）測,很多公司使用TFI的冷發塵,由（yóu）於其屬於（yú）多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已（yǐ）經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測（cè）試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低（dī）了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試（shì）方法上（shàng）麵（miàn）已經有說明,總體而言就是（shì）測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能（néng）是樣本,而且不可能全部都測（cè）.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間（jiān）的（de）結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了（le）統計學相關（guān）知識,包（bāo）括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差