北（běi）海用塵埃粒子計數器（qì）對高效過濾器檢（jiǎn）測檢漏方（fāng）法

用（yòng）塵埃粒子計數器對高效過濾器（qì）檢測（cè）檢漏方法及檢測檢漏標準：用大氣塵（chén）為塵源與粒子計數器配合，對高效過濾（lǜ）器作檢（jiǎn）漏檢查。打開風機，在離高效過濾器表麵25mm處采用塵（chén）埃粒（lì）子計數器掃描檢測，掃描速度為5cm-30 cm /s，檢測出0.5μm的微粒數不得超過3500粒/m3。

塵埃粒子計數器高（gāo）效過濾器檢漏方（fāng）法：

潔淨度級別等於或高於100級的潔（jié）淨（jìng）車間的高效過濾（lǜ）器安（ān）裝前必須作現場檢漏，重點是檢查過濾器有無（wú）破損漏泄等自身質量。

所有級別的潔（jié）淨車間，都要求對其安（ān）裝好的高效過濾器作檢（jiǎn）漏，在現行規（guī）範沒有給出檢查數量時，可以自定一個比例，安（ān）裝（zhuāng）檢漏（lòu）的重點是空氣過濾器邊（biān）框密封質量。

高效過濾器檢漏常用的儀器有:塵埃粒子計數器和5C氣溶膠發生器。

用於測量潔淨環境中單位體積空氣（qì）內的塵埃粒子大小及數目，可直（zhí）接檢測潔淨度等級為十級至三十萬級的潔淨環境。體積小、重量輕（qīng）、檢測精度高、功能操作簡單（dān）明了，微處理器控製，可貯（zhù）存（cún）、打印測量結果，測試潔淨環境十分便利。

5C氣溶膠發生器

5C氣溶膠發生器能產生一致的多種直徑分布的氣溶膠粒子，TDA-5C氣溶膠發生器與TDA-2G或TDA-2H等氣溶膠光度計配合使用時能提供足夠的挑戰（zhàn）粒子去測量高效過濾係（xì）統。

潔淨室高效過濾器粒子（zǐ）計（jì）數器法檢漏的（de）一般（bān）規定

（1）被檢過濾器必須已測（cè）過風量，在設計風速的80%～120%之間運行。

（2）在被檢高（gāo）效（xiào）過濾器上風側測定大氣（qì）塵的微粒數，以大於或等於0.5ΜM微粒為準，其（qí）濃（nóng）度必須大（dà）於或等（děng）於3.5×`10^4`粒/L；若檢測超高（gāo）效過（guò）濾器，則以大於或等於（yú）0.1ΜM微粒為準，其濃度必須大於或等於3.5×`10^6`～3.5×`10^7`粒/L。

（3）若上風側（cè）濃度不符合上（shàng）項規定，則應引入（rù）不經過濾的空氣，如果還達（dá）不到規定，則不宜用粒子計數器（qì）法和凝結核計數器法（fǎ）檢漏。

（4）檢漏（lòu）時（shí）將采樣口放在距離被檢過濾器表麵2～3CM處，以5～20MM/S的速度移動，對被檢過（guò）濾器整個（gè）斷麵、封頭膠和安裝框架處進行掃描。