保定hepa高效過濾器

其實（shí）很多人對於高效過濾器的了解還是停留在表麵上的（de），

比（bǐ）如隻知道潔淨（jìng）室要安裝初效G4+中效（xiào）F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾（lǜ）器的一些（xiē）特（tè）性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話（huà）的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過（guò）濾器的測試粒子的尺寸是什麽（me）？

下麵的內容則是我自己以前整理（lǐ）的一些筆記，針對高效過濾器（qì）的一些詳細介紹（shào）。

不太懂的就看黑體（tǐ）字（zì）就可以了！！！！

1.從HEPA高效（xiào）過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為（wéi）高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美（měi）國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲（zhōu）持續優化自身規範（fàn）和標準

目（mù）前國家（jiā）上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三（sān）大標準。中國國內大部分項目緊跟的是（shì）EN1822標準。

IEST規（guī）定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過（guò）率大於99.95%的就（jiù）可以,也就是H13以（yǐ）上;
EN1822
從圖中可以看到如下（xià）信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這（zhè）當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格（gé）,分（fèn）析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的（de）是粒（lì）子質量中徑,也就是所（suǒ）有的氣溶膠粒徑分布（bù）當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不（bú）要認（rèn）為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規（guī）定要求的是質量中徑在0.3um的氣（qì）溶膠群,也就是氣溶膠是單分（fèn）散相或者多分（fèn）散相的,是一個範圍（wéi）內的氣溶膠群（qún）體（tǐ）,而絕不（bú）是單一粒徑的0.3um的氣溶膠（jiāo）;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的（de）是（shì）粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值（zhí）.50%的（de）粒（lì）子小於這個值。MMD=0.3um的顆（kē）粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是（shì）質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這（zhè）裏也僅僅是類似，不能完全等同（tóng）。

3).新（xīn）版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的（de）分類劃入高效係列（liè）,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖（xiān）維做（zuò）實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每（měi）次試驗均要發單[準（zhǔn）]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的（de）統計（jì）,絕大部分的最易穿透的粒子（zǐ）粒徑在0.1um-0.25um之間的（de）某一（yī）個值。從商業角（jiǎo）度而言,氣（qì）溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和（hé）粒徑大（dà）小沒有直接（jiē）關係，也就是計算結（jié）果和粒徑沒有關係.因此我（wǒ）們可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑的而（ér）是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候（hòu）要求測（cè）試一個區間範圍內的所有（yǒu）粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下（xià）MPPS是不同的（de）。出（chū）廠前需要明確額定濾速是多（duō）少.

5).對於（yú）實際（jì）的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之（zhī）內,而且粒（lì）徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差（chà）不能（néng）超過10%;

2.氣溶膠（jiāo）發生（shēng）器（qì）

氣溶膠發（fā）生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結（jié）發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫（bāng）助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣（qì）溶膠發生器 單分散相異凝（níng）結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生（shēng）器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不（bú）穩定

從美國的IEST可以看出（chū）他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量（liàng）濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過（guò）問題在於MPPS不可（kě）能直（zhí）接測量一個粒徑值。其實是（shì）一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作（zuò）為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的（de）。

根（gēn）據（jù）EN1822-5的說法,如果是（shì）采用單分散相粒子在測（cè）試效率的時候是不計（jì）量粒子分徑（jìng）的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑（jìng）分布的。隻要（yào）標準差小於1.5就可以這（zhè）麽認為了（le）。

對於多分散相就不是這麽回事了（le）。因為標（biāo）準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分（fèn）布和數量。需要注（zhù）意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道（dào）的情況下,隻（zhī）需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數（shù）量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍（wéi）的最大值與最小值之比（bǐ）為（wéi）2.5.因此在EN1822-5的要求下,最（zuì）好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測（cè）量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所（suǒ）以實際的結果是（shì）大部分廠家或者測（cè）試方最終的計數結果（guǒ）0.1um-0.2um之間的（de）總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最（zuì）好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實（shí）際（jì）的測試可以（yǐ）在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這（zhè）三種情（qíng）況下進行計量。

考慮到實際的光學粒（lì）子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵（miàn）任選一（yī）個並且選擇全部的粒子（zǐ）或者部分的（de）粒子。到底怎麽選根據（jù）實際的粒子分（fèn）析儀來。實（shí）際的工（gōng）程結果是選擇（zé）0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發（fā）可以（yǐ）在（zài）0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分（fèn）散粒子（zǐ）測試時候的分析（xī）與說明。

3:接收方法

一般有兩種方（fāng）法。

一種是用於測（cè）定質量濃度的光度計,它不能計數（shù）。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以（yǐ）測數量。不過需要說（shuō）明的是不能認為它什麽粒徑都（dōu）能測,它（tā）一般隻能（néng）分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一（yī）清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經（jīng）說過了。

這是因為（wéi）EN1822-3對於濾（lǜ）料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測至少（shǎo）六種不同的粒徑（jìng）,通過畫曲線的方法（fǎ）找到最低點MPPS。這種方（fāng）法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其（qí）實找到的不是單一粒徑,而是（shì）一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間（jiān）的粒徑,所以這更加說明了（le）是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一（yī）粒徑（jìng）的（de）;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於（yú）其測試質量濃度就可以了,而（ér）對於高要（yào）求的U15以上要求用（yòng）粒子計數器,並（bìng）且直接讀取0.1um-0.2um或（huò）者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於（yú）現場中的DOP檢測,很多公司（sī）使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的（de）要求了。因此要求現場的測試質量濃度比（bǐ）為99.99%@H13H14是合（hé）理的.因（yīn）為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以（yǐ）上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測（cè）試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就（jiù）是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現（xiàn）場測試的隻能是樣本（běn）,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采（cǎi）用了泊鬆分布的95%置信區間的結（jié）果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且（qiě）在資料當（dāng）中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分（fèn）布/95%置信區（qū）間/標準（zhǔn）差/幾何標準差