鞍山hepa高（gāo）效過濾器

其實很多人（rén）對於高效過濾器的（de）了解還是（shì）停（tíng）留在表麵上的，

比如隻知（zhī）道潔淨室要安裝（zhuāng）初效G4+中效（xiào）F5+中高效F9+末端的高效H14，但（dàn）是對於高效過濾器的一些特性還是（shì）不太（tài）了解（jiě）的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的（de）A級別高（gāo）效（xiào）過濾器,這句話（huà）的詳細意思其實並沒有多少人思考（kǎo）！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的（de）測試粒子的尺寸是什（shí）麽？

下麵（miàn）的內容則是我自己以前整（zhěng）理的一些筆記，針對高效過濾器的（de）一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體（tǐ）字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾（lǜ）器（qì）效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的（de）使用來源於美（měi）國軍方, 為（wéi）MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國家上通行的（de）是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準（zhǔn）。中國國內大部分項目緊跟（gēn）的是（shì）EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶（róng）膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中（zhōng）可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以（yǐ）是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考（kǎo）慮之下;
IEST描述（shù）
針對以上的兩張表格,分析如（rú）下（xià）:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是（shì）粒子質量中徑,也（yě）就是所有的氣（qì）溶膠粒徑分（fèn）布（bù）當中50%的質量大（dà）於這個（gè）值,50%的質量小於這個值.

因此不（bú）要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對（duì）0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣（qì）溶膠（jiāo）群,也就是氣（qì）溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠（jiāo）群體,而絕（jué）不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子（zǐ）大於這個值.50%的粒子小（xiǎo）於（yú）這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重（chóng）雖然小,但是質量權重很大。因此在（zài）IEST上麵（miàn）說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆（kē）粒直徑.這裏也僅僅是（shì）類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作（zuò）為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一（yī）種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至（zhì）少（shǎo）做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準（zhǔn）]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用（yòng）曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的（de）某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣（qì）溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標（biāo）準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑（jìng）大小沒有直接關（guān）係，也就是計算結果和粒徑（jìng）沒有關係.因此91小视频可以認為MPPS的粒徑大（dà）小在測試的（de）時候（hòu）不是針對（duì）某一個粒徑（jìng）的（de）而是針對一個區間的。這（zhè）個（gè）也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時（shí）候要求測試一個區間範圍（wéi）內的所有（yǒu）粒子數量總和;同時也要說明的是不同的（de）過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒（lì）子總數。這裏所隱含的條（tiáo）件是氣溶膠的發塵應該（gāi）正（zhèng）好落在這個（gè）範圍之內,而且粒徑的中值（zhí）CMD應該正好（hǎo）等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠（jiāo）發生（shēng）器

氣溶膠發生器可以分為（wéi）若幹種,如熱發塵和冷（lěng）發塵,異凝結發塵和同凝結（jié）發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分（fèn）散相粒徑發出。

壓縮空氣（qì）多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多（duō）分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣（qì）溶膠發生器 單（dān）分散相異（yì）凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分（fèn）散相（xiàng）異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單（dān）分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵（chén）+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他（tā）們使（shǐ）用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟（méng）采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問（wèn）題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個（gè）範圍的。

根（gēn）據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不計（jì）量粒（lì）子分徑的。直接把所有的粒子（zǐ）數量加在一起就（jiù）可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要（yào）注意的是單分散相也不是真正的單分（fèn）散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這（zhè）麽認（rèn）為了。

對於多分散相就不是這（zhè）麽回事（shì）了。因為標（biāo）準（zhǔn）差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量（liàng）。需要注（zhù）意的是在上下遊（yóu）收集的時候,在MPPS已經知道的情況下（xià）,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏（lǐ）麵的全部（bù）或者部分粒（lì）子數（shù）量即可。

舉例來（lái）說明:現在EN已經發現MPPS粒（lì）子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這（zhè）個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最（zuì）好取MPPS/2-MPPS*2的全部（bù）範圍或者部分。這是（shì）因為實際的光學粒子計數器（qì）有（yǒu）一（yī）個（gè）測（cè）量精度（dù）問題。大家知（zhī）道的（de）一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實（shí）際的結果是大部分廠（chǎng）家或（huò）者（zhě）測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數（shù）作為計量基礎（chǔ）。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是（shì）規範（fàn）也可以（yǐ）要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮（lǜ）到實際的光（guāng）學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任（rèn）選一個並且選擇全部的粒子或者部（bù）分的粒子。到底怎（zěn）麽選根據實際的粒子分析（xī）儀來。實際的工（gōng）程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣（yàng）子,因此采（cǎi）用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之（zhī）間選擇部分（fèn）也就是0.1um-0.2um之間（jiān）的值作為劑量（liàng）標準。

以（yǐ）上（shàng）是對多分散粒子測試（shì）時候的（de）分（fèn）析（xī）與說明。

3:接收方法

一般（bān）有兩種方法。

一種是用（yòng）於測定質量濃度的光度計,它不能（néng）計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別（bié）是在現場的時候；

另外一種是用粒（lì）子計（jì）數器或（huò）者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需（xū）要說明的（de）是不（bú）能認為它什麽粒徑（jìng）都（dōu）能（néng）測,它一般隻能分段測粒徑。比（bǐ）如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而（ér）不（bú）是大（dà）家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的（de）接收粒子MPPS是在一段（duàn）粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最（zuì）低MPPS的點是曲線（xiàn）找出來的,而不是實際測出（chū）來的（de）。規定要求測至少六種不同的粒（lì）徑,通過（guò）畫曲（qǔ）線的方法找到最低點MPPS。這種方法（fǎ）隻（zhī）能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其（qí）實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且（qiě）在EN1822-4和（hé）EN1822-5裏麵已經要（yào）求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子（zǐ）分（fèn）析隻能測試出某一段粒（lì）徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試（shì）方法

對（duì）於H13和H14,IEST要求對於（yú）其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀（dú）取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先（xiān）檢測（cè）出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多（duō）公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此（cǐ）其實導致的結果（guǒ）就（jiù）是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大（dà）於0.3um的（de）要求（qiú）了（le）。因此要求（qiú）現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部（bù）分的項目（mù）而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以（yǐ）上的（de）就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總（zǒng）體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測（cè）試結果的分析

由於現（xiàn）場測試的隻能是樣本,而且不可（kě）能全部都（dōu）測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參（cān）考資（zī）料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資（zī）料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆（sōng）分布/95%置信（xìn）區間/標準差/幾何標準（zhǔn）差