有什麽方法(fǎ)來提高潔淨室能源利用率
有什麽方(fāng)法來提高潔淨(jìng)室能源利用率
或許潔淨室過度建設和過高標準的現(xiàn)狀即將成為過去,至少,目前Lawren Berkeley Labs能源項目(mù)的研究(jiū)員及經理Tengfang(Tim)Xu有(yǒu)辦(bàn)法改(gǎi)變現狀。“理論上講,氣流速度每提高10%,風扇的能耗將增加30%。如果將各種設備等比例縮減到足夠維持汙染控製的低能耗,將節省大量的能源。”作為環境科學與技術學院(IEST)“走近專家”係列課程的一部分,Xu近(jìn)通過網絡開設(shè)了“潔(jié)淨室設計與運營的可持續(xù)發展問題”。課(kè)程針對潔淨室和微環(huán)境(ME)的規劃、設計、建設、運營直到退出,從可持續發展角度提出了一些列建議和指導方針。
生產設備通常消耗整個潔(jié)淨室1/3的能量,冷卻和泵浦係統再消耗20%,空氣循環係統消耗另外的20~30%。剩餘的部分(fèn)用於支持去離(lí)子水和其它生產用水的水泵、排氣扇、氮氣生(shēng)成設備及其它輔(fǔ)助設備。潔淨室不同區域實際(jì)空氣流速和氣體交(jiāo)換率可以存在很(hěn)大差別,有些區域要求單向氣流,而其它區域則不然。
Xu給出(chū)了一些實際的例子:幾乎一半潔淨等級為(wéi)4級的潔淨室還有一部分潔淨等級為(wéi)3級的ME都存在標準過高的問題,主要表現在當前工業準則中 ME的推薦氣(qì)體流速和壓強差。對風險的恐懼和過於(yú)保(bǎo)守的(de)設(shè)計思想是造成這種標準過高的原因。常見的想法就(jiù)是既然某種方案從前可以(yǐ)工作,為什麽(me)還要去改變呢?Xu提出在潔淨室規劃階段采用分級收集信息的(de)方法(fǎ),這樣可以對計劃(huá)的決(jué)策提供指導,並(bìng)把能源消耗作為一項重要的參數考慮進去。同時,針對某些特定(dìng)係統,Xu給出了一些(xiē)建議方法(表),這些方法已被更新到IEST-RP-CC012.2中。他說:“更好地利用能源,會改善環境質量。對(duì)於潔淨室來說,從一個產業的角度考慮,能源利用率、設備穩定性、生產效率(lǜ)以及未來的(de)指導方針都會對現行方法產(chǎn)生很大影響。”
同時,Xu還鼓勵讓整個(gè)流程中的人員參與決策,共同(tóng)確定諸如(rú):係統的規模(工藝、機械以及電氣相關人員),低氣壓(yā)壓力損失(機械和結構設計人(rén)員),和(hé)設定具有實際意義的氣體流速要求(機械(xiè)和控製人員)。
在另一個實(shí)際(jì)例子(zǐ)中:Xu選擇了12種不同型號4×2英尺的風扇,通過比較其能源利(lì)用率,發現不同型(xíng)號之間存在很(hěn)大差別,有些甚至不能在要求的工(gōng)作區間內正常工作。對於HVAC空氣係統(tǒng),需要考(kǎo)慮的測試項目包括:低氣壓壓力損失(shī)、適當的空氣循環(huán)係統、空(kōng)氣交換率、用量控製過濾、風扇效率、風扇過濾單元以及(jí)排氣係統優(yōu)化。Xu指出,通過優化ME和潔淨室的空氣流,在保持對顆(kē)粒有效過濾的情況下,能量消耗可以降低10~85%。
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