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[行業新聞] 半（bàn）導體潔淨室中ULPA過濾器的檢漏（lòu）測試具（jù）體有哪些方法？各自的優缺點是什麽？
在半導體潔淨室中，ULPA（超高效空氣過濾器（qì），通常為U15及以上等級）的檢漏測試是保障潔淨度的核心環節（jiē），需精準檢測濾芯本體、密（mì）封邊緣、安裝框架等部（bù）位的泄（xiè）漏（允許泄漏率≤0.001%，遠嚴於普通工業標準），避免亞微米級微粒（0.1~0.3μm發布時（shí）間（jiān）：2025-10-09 點擊次數：11148
